项目名称及要求：热场发射透射电子显微镜系

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1、项目名称及要求：热场发射透射电子显微镜系统序号货物名称技术参数要求数量备注1热场发射透射电子显微镜系统详细指标见附件1推荐品牌：FEI、日本电子、蔡司项目概述：所购置的热场发射透射电子显微镜属于较高端的科研与教学仪器设备。主要用于各种材料的高分辨形貌观察、微区晶体结构、相结构、成分分析和选取电子衍射分析测定等，该系统主要由电子光学系统、高压系统、真空系统、能谱仪、CCD成像和制样等部分组成，服务于我校师生、周边院校等单位。系统总体构成：电镜主机（包含真空系统、电子光学系统、高压系统、检测器单元等

2、）、冷却循环水系统、能谱仪、自动变压器、CCD成像系统、控制计算机、制样设备、后备电源、标准工具包及相关附件。主要指标见附件：热场发射透射电子显微镜（TEM）技术参数附件：热场发射透射电子显微镜（TEM）技术参数（注：技术指标中前加“*”号为必须满足的条款，不允许负偏差）1.运行环境：1.1工作温度：18-23°C1.2工作湿度：≤60%（20°C）1.3适用电源：单相，220V（±10%），50Hz；三相，380V（±10%），50Hz1.4磁场：水平≤80nTp-p，垂直≤100nTp-p1

3、.5接地电阻：≤0.4W1.6仪器运行的持久性：仪器可连续长期使用2.设备用途2.1科学研究2.2主要用于材料的高分辨形貌观察、晶体结构、相结构、成分分析和电子衍射分析测定等，主要由电镜主机、冷却循环水、能谱仪、自动变压器、CCD成像、制样设备等部件构成。*3.技术规格3.1电子枪3.1.1电子枪类型：肖特基场发射电子枪83.1.2束流：≥0.6nA（束斑尺寸为1nm时）3.1.3束斑漂移：≤1nm/min3.2分辨率3.2.1点分辨率：≤0.24nm3.2.2线分辨率：≤0.102nm3.2.

4、3信息分辨率：≤0.14nm3.2.4能量分辨率：≤0.75eV3.3放大倍数3.3.1倍数范围：25-1,000,000倍3.3.2放大倍数重复性:≤5%3.4加速电压3.4.1电压范围：20-200kV3.4.2加速电压全程范围内切换仅需通过软件即可完成3.4.3加速电压稳定性：≤1ppm/10min3.4.4物镜电流稳定性：≤2ppm/min3.5最小束斑尺寸3.5.1透射模式（TEM）：≤1nm3.5.2EDS/NBD/CBD模式：≤0.3nm3.6电子衍射3.6.1最大会聚角：≥100

5、mrad3.6.2最大接受角：≥13°3.7物镜3.7.1球差系数：≤1.2mm3.7.2色差系数：≤1.2mm3.7.3最小聚焦步长：≤1.8nm3.8相机长度：80-4,500mm3.9照明模式3.9.1两种照明模式：平行光模式和汇聚束模式。每种模式下各有11种束斑尺寸，大小可调3.9.2照明模式间切换：通过软件即可完成，切换后系统稳定所需时间短于1分钟3.10样品台3.10.15轴样品台，可存储和复位5维（x,y,z,a,b）坐标3.10.2单倾样品杆3.10.3低背景双倾样品杆3.10.

6、4样品移动范围：X，Y≥±1mm；Z≥±0.375mm3.10.5样品台最大样品倾角±40°83.10.6样品台漂移（使用标准样品杆）：≤0.5nm/min3.11扫描透射附件（STEM）3.11.1探头：高角环形暗场探头（HAADF）3.11.2明场分辨率：≤0.2nm3.11.3暗场分辨率：≤0.2nm3.11.4HAADF分辨率：≤0.2nm3.11.5放大倍率：150-230，000，000倍3.11.6TEM与STEM切换所需热稳定时间：≤30s3.11.7可同时采集STEM和EDX信

7、号，并实时显示3.12真空系统3.12.1真空系统构成：完全无油真空系统，由机械泵、超静音分子泵和离子泵构成3.12.2真空度：电子枪真空度≤5×10-7Pa；样品区真空度≤2.7×10-5Pa3.12.3典型换样时间：≤1min3.12.4更换样品时无需关高压3.12.5自动真空抽气及诊断系统，断电、漏电、真空自动保护3.12.6机械泵可放置在设备间，有效隔离噪音与振动3.12.7另提供5米长进口真空硅胶管1条3.12.8自动变压器1台（进口，4kW，含230、220、210、110、105、

8、100、95V接线柱）3.13冷却循环水系统3.13.1提供标配冷却循环水系统，循环水使用纯水，日常使用免维护3.13.2冷却系统放在设备间，隔绝噪音与振动，可在电镜室内便捷的控制冷却系统3.13.3冷却水流量自动控制并可实时显示温度3.14电镜操作3.14.1百分百数字化操作，所有的电镜操作和控制按钮都可在基于WindowsXP的计算机控制系统上完成，用2个控制台和1个鼠标控制，操作指令执行过程中无延时3.14.2允许在不同的操作模式和数据采集模式之间快速切换，切换过程中系统自动调回所有相关的