光谱技术在奈米科学上的应用

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1、光譜技術在奈米科學上的應用文／王俊凱摘要本文介紹了兩種光譜顯微技術，並且以實例來說明他們對於奈米尺度下物質特性了解的幫助。在從一至一千奈米（一奈米等於一毫微米，10-9米）的世界裡，充滿了各種不同於原子世界及巨觀世界裡的新奇現象。從這些現象中產生了許多潛在的新物質特性及應用。正是由於這些理由，使得奈米科技成為二十一世紀最重要的科技新領域之一（其他兩個是資訊科技及生物科技）。而其中最值得一提的共通性是這些特性常常與結構的大小及形狀間存在一種敏感且非線性的關係。使得這些特性常常無法以直觀、簡單的推論來預測。其來源乃是源起於其內部的交互作用機制遵守微觀的非

2、線性法則。目前奈米研究偏重在結構上的分析。尤其是結構檢測上的儀器[如電子顯微鏡(如transmissionelectronmicroscope及scanningelectronmicroscope)與掃描探針顯微鏡(scanningprobemicroscope)]在近年來的蓬勃發展，已能對於奈米尺度進行深入且清楚的分析研究。但是這些技術絕大部分卻無法偵測出奈米物體的特性。尤其是決定其特性最重要的電子能階及其相關的性質，卻常常付之闕如。因此，對於與奈米尺度上有著極敏感關係的特性(property)，絕大多數情況仍仰賴巨觀而大量樣品的量測。由於奈米製程

3、上有限的控制度以及微觀環境對於每一樣品的不均勻影響，使得這些巨觀量測無法得到深入地了解奈米尺度上的特性。因此，如何發展出能夠直接量測在奈米尺度下特性的量測技術，就成為目前奈米研究的最重要課題之一。在此筆者將介紹屬於這方面的兩種光譜顯微技術(opticalspectro-microscopy)之發展：傳統式光譜顯微技術及近場(near-field)掃描式光譜顯微技術，並且列舉四個實例來說明。圖一是傳統式光譜顯微系統的結構圖[1]。其中大概可區分為四個部分。第一部分是光學顯微鏡(直立式或倒立式)。其空間解析度可達到次微米(sub-micrometer)的

4、程度。若加上共焦(confocal)裝置，可以進一步達到200~300奈米的解析度。第二部分是激發光源。依照其應用可以分為連續性寬波長範圍的燈源與雷射光源以及脈衝式的燈源與雷射光源。前者用於測量靜態光譜，後者用於測量動態光譜。利用光學顯微鏡之光源引進口，可以將這些光源導入樣品。第三部份是樣品區。根據其系統的差別，可以是普通夾具、控溫的液態樣品室、或者是在真空下的低溫樣品室。第四部分是偵測系統。將穿透過樣品的光波、散射光(elasticandinelasticscattering)及螢光(photoluminescence)、以及其他非線性光學訊號[譬

5、如倍頻(harmonicgeneration)及同調拉曼訊號(coherentRamanscattering)]收集起來，再透過光譜儀，將不同波長的訊號分開出來，接下來再用不同的光偵測器來量測[譬如多頻道(multi-channel)電荷耦合照相機(charge-coupleddevice，CCD)、單頻道(single-channel)光子倍增管(photo-multipliertube)、或者是快速照相機(streakcamera)]。藉由此光譜顯微系統，可以進行單一奈米物體(single-object)的靜態及動態的光譜研究。圖一：傳統式光譜顯

6、微系統的結構圖。圖二是近場掃描式光譜顯微系統的基本結構圖[2]。其最重要的元件是尖錐狀(tapered)的光纖頂端。在加熱中逐漸拉長的情況下，光纖直徑將變小。在切斷後，即成為尖錐狀。然後在經由熱蒸鍍一層鋁金屬薄膜在其側邊，則形成一個極細的光導管尖端。當光波由另一端灌入後，將沿光纖傳導至此一尖錐端。而由於鋁薄膜的局限，將使光波涵蓋的直徑在此一出口端的範圍最小可達到約20奈米。因此，此一光源可以來作為遠小於繞射極限(diffraction-limited)的光焦點，來進行近場的光譜實驗。圖二：近場掃描式光譜顯微系統的基本結構圖。圖二右邊展示其基本架構。雷

7、射光源由光纖另一端灌入後，再由其尖錐端輸出來與樣品作用。其穿透的光波、或者其產生的螢光及散射光，可用一個物鏡收集，然後導入光譜偵測系統加以分析。此一尖錐式光纖可以架設在音叉上，藉由此一尖端與樣品表面的作用力所改變的音叉頻率來作為迴授控制訊號。配合樣品的xy平面的掃描系統，可以同時得到剪力影像(shear-forceimage)以及近場光譜影像。藉由此光譜顯微系統，甚至可以進行單一奈米物體上靜態及動態的光譜分佈研究。以下筆者將介紹四個實例來說明此兩種光譜顯微技術在奈米科技的應用。圖三是利用第一種傳統式光譜顯微技術所得到的單顆銀奈米三角形顆粒的散射光譜[

8、3]。其激發光源是連續性的Xe燈，而光學顯微系統是利用一顆100倍的暗光(dark-field)物鏡來收取訊