微奈米技术导论.doc

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1、髒:1163003國立中興大學課程綱要一、【開課單位】機械系【開課年級】大學部三年級三、【修別】選修四、【科目名稱】（中文）：微奈米技術導論（英文）:IntroductiontoNanotechnologyandMEMS五、【授課教師】：戴慶良六、【先修科目】::上學期學分，下學期3學分A【授課時數】：（正課）3小時,（實習）小時九、【教學目的】：本課程主要是提供機械系與工學院同學有關奈米科技和微機電系統的相關技術和應用，課程重點包括奈米材料、奈米電子、奈米光電、奈米生物、奈米加工和檢測、和微機電系統等技術之介紹和應用。十、【內容綱要】：1.奈米材料2.奈米電子3.

2、奈米光電4.奈米生物技術5.奈米科技於傳統產業之應用6.奈米科技於能源方面的應用7.奈米檢測分析、加工與設備開發8.微機電系統介紹1.微感測器之製作和應用2.微致動器之製作和應用十一、【其他】：(如參考書目.•等)(1)課本1.S.Fatikow,Microsystemtechnologyandmicrorobotics,Springer-Verlag,1997.2.台灣奈米科技，工業技術研究院,2004.3.補充講義(2)參考書1.G.Timp,Nanotechnology,Springer-Verlag,1999.2.M.J.Madou,Fundamentals

3、ofMicrofabrication,CRCPress,2002.3.微機電系統技術與應用，機密儀器發展中心,20034.吉宗，奈米科技導論，全華科技,20035.圖解奈米科技，工業技術研究院,2002