rena清洗设备中文版说明书

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1、RENA清洗设备中文版说明书仅操作部分6、操作6.1开机6.1.1步骤1：开机前准备    第一步：打开药液供给侧的手动阀    第二步：关闭所有后侧门    第三步：关闭所有服务和维修窗口的盖板    第四步：解锁所有急停按钮6.1.2步骤2：给机器上电    第一步：将机器的主开关打到ON的状态        此时机器有电    第二步：移走UPS电源的盖板    第三步：将UPS的主开关打到ON的状态    第四步：将主机的主开关打到ON的状态        此时操作系统启动6.1.3步骤3：给CHILLER上电    第一步：将CHILLER的主开关打到ON的

2、状态        此时CHILLER启动6.1.4步骤4：登录Windows    第一步：选择Operator用户    第二步：输入Operator密码，点击确定6.1.5步骤5：启动应用软件  6.1.5.1  启动SPS软件    第一步：双击WINLCRTX          SPS软件启动        SPS软件开始自动运行，直到ON和RUN显示为绿色    第二步：将WINLCRTX最小化6.1.5.2  启动Server  第一步：双击Server  第二步：点击OpenProject  第三步：选择ProjectPath  第四步：点击[+]  

3、第五步：点击[Configuration]  第六步：点击OK  第七步：点击RUN  第八步：点击StartTagProvider  第九步：最小化服务器程序6.1.5.3  启动用户界面  第一步：双击[Client]6.1.6步骤6：用户登入    第一步：登入Process6.1.7步骤7：控制系统上电    第一步：按动ON按钮6.2工艺初始化准备    第一步：登入Service    第二步：了解所有报警信息    第三步：将机器打到Manual状态    第四步：对所有的功能单元下载Recipe    第五步：冷却系统补液    第六步：清洗槽补液  

4、  第七步：所有dosagetanks补液    第八步：所有Pumptanks补液        此时机器用于工艺已准备好6.3自动生产    第一步：登入Operator用户    第二步：确认所有的功能单元都处在Ready状态    第三步：点击Startproduction6.3.3停止自动生产6.3.3.1  停止预定的自动生产    第一步：点击Scheduledstop      弹出一个窗口    第二步：点击YES      仍在机器内的硅片跑出后停止6.3.3.2  停止未预定的自动生产    第一步：点击Unscheduledstop      

5、弹出一个窗口    第二步：点击YES      仍在机器内的硅片将过刻6.3.3.3  停止自动生产—关闭    步骤1：停止预定的自动生产    第一步：点击Scheduledstop    第二步：点击YES      仍在机器内的硅片跑出后停止      步骤2：点击Unscheduledtime6.3.4手动补液6.3.4.1工艺槽补液    第一步：点击Processbath    第二步：点击欲加液的dosagetank.    第三步：点击dosage    第四步：输入欲加液的体积    第五步：点击Startmanualdosage        

6、  补液开始    停止补液    第一步：点击Stopmanualdosage          补液停止6.3.4.2碱槽补液    与以上相似6.3.4.3酸槽补液    与以上相似6.3.5滚轮操作6.3.5.1停止滚轮    第一步：点击Drivesbreak          滚轮停止转动6.3.5.2启动滚轮    第一步：点击Drivescontinue          滚轮开始转动6.3.6机器保护门的操作6.3.6.1解锁保护门    第一步：点击Unlockpane          保护门解锁6.3.6.2锁保护门    第一步：点击Lock

7、pane          保护门锁上6.3.7硅片计数器清零    第一步：点击Resetwafercounter          硅片计数器清零6.4手动操作6.4.1将机器打到Manual状态    第一步：点击Manual    第二步：等到所有功能单元都切换到Manual状态6.4.2冷却系统补液    第一步：将机器打到Manual状态    第二步：点击CoolingSystem    第三步：点击Manualfunctions    第四步：点击FillwithCityWater          冷却系统开始补液    中断冷却系