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《大型x射线光学仪器_单层镜和多层镜的制造与表征_英文》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、ArticleID10042924X(2007)1221869209大型X射线光学仪器:单层镜和多层镜的制造与表征MichaelSto¨rmer1,DietrichH¨auβler2,WolfgangJ¨ager2,RüdigerBormann1(1.InstituteofMaterialsResearch,GKSS2ResearchCentreGeesthachtGmbH,Max2Planck2Strasse1,21502Geesthacht,Germany;2.MicroanalysisofMaterials,FacultyofEngineering,Univer
2、sityKiel,Kaiserstrasse2,24143Kiel,Germany)摘要:150～500mm长度的各种X射线光学元件可用于光束导引,光束调整,以及单色化。本文介绍了两种不同的大型X射线反射镜。第一种为单层反射镜,这种反射镜以2°掠入射角在软X射线区(50～200eV)起全反射镜作用,可用于自由电子激光器,如德国汉堡的FLASH。第二种是多层镜,由于它的布喇格反射特性,适于作为反射镜以0.4～1°的入射角用于硬X射线区(20～50keV),如层析光束线的同步辐射存储环中。两种反射镜都用最新物理汽相淀积法制备,并用磁控溅射来实现X射线光学应用所需要的优良光
3、学品质。这一淀积工艺使不同批次的镀膜稳定性良好,有利于实际反射镜在优质衬底上的最后淀积。单层镜和多层镜在它们的相关能量范围内都有很高的反射率,表面粗糙度也很低,且在整个光学波长区这些特性表现均匀。文中所叙相关研究都是借助X射线反射计量(XRR)法,透射电子显微镜(TEM)、光学轮廓仪(OP),以及原子力显微镜(AFM)完成的。关键词:X射线光学;多层膜反射镜;全反射镜;X射线反射测量;磁控溅射;同步辐射;自由电子激光器中图分类号:O434.19;TH703文献标识码:ALargeX2rayoptics:fabricationandcharacterizationofs
4、ingleandmultilayermirrorsMichaelSto¨rmer1,DietrichH¨auβler2,WolfgangJ¨ager2,RüdigerBormann1(1.InstituteofMaterialsResearch,GKSS2ResearchCentreGeesthachtGmbH,Max2Planck2Strasse1,21502Geesthacht,Germany;2.MicroanalysisofMaterials,FacultyofEngineering,UniversityKiel,Kaiserstrasse2,24143Kie
5、l,Germany)Abstract:VariousX2rayopticswithanopticallengthof150～500mmareemployedforbeamguid2ance,beamalignmentandmonochromatization.ThispaperfocusesontwodifferenttypesoflargeX2raymirrors.Thefirstopticalelementisasingle2layermirrorwhichworksasatotal2reflectionmirrorinthesoftX2rayrange(50～2
6、00eV)andatagrazingincidenceangleof2°.Suchamirrorisusedinfree2electronlasers,e.g.FLASHinHamburg,Germany.Thesecondmirrorisamultilayermirror,whichisemployedasareflectorduetoitsBraggreflectionforthehardX2rayrange(20～50keV)andatincidenceanglesof0.4～1°.Suchamirrorcouldbeusedatasynchrotronstor
7、agering,forinstanceinatomographybeamline.Inbothcases,themirrorsarefabricatedbymeansofstate2of2the2artphys2icalvapourdepositiontechniques,usingmagnetronsputteringtoachieveagoodopticalqualityforReceiveddate:2007208220;Reviseddate:2007210210.光学精密工程第15卷1870theirX2rayopticalapplicat
