资源描述：
《大型x射线光学仪器：单层镜和多层镜的制造与表征》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、大型X射线光学仪器：单层镜和多层镜的制造与表征第15卷第12期2007年12月光学精密工程OpticsandPrecisionEngineeringVoI.15No.12Dec.2007ArticlelD1004—924X(2007)121869一O9大型X射线光学仪器:单层镜和多层镜的制造与表征MichaelStormer,DietrichHaul31er,WolfgangJager,RiidigerBormann(1.1nstituteofMaterialsResearch,GKSS—Researc
2、hCentreGeesthachtGmbH,Max—Planck—Strasse1,21502Geesthacht,Germany;2.MicroanalysisofMaterials,FacultyofEngineering,UniversityKid,Kaiserstrasse2,24143Kiel,Germany)摘要:15o～500mm长度的各种x射线光学元件可用于光束导引,光束调整,以及单色化.本文介绍了两种不同的大型x射线反射镜.第一种为单层反射镜,这种反射镜以2.掠入射角在软x射线区(5O
3、～200eV)起全反射镜作用,可用于自由电子激光器,如德国汉堡的FIASH.第二种是多层镜,由于它的布喇格反射特性,适于作为反射镜以0.4～1.的入射角用于硬x射线区(2O～50keY),如层析光束线的同步辐射存储环中.两种反射镜都用最新物理汽相淀积法制备,并用磁控溅射来实现x射线光学应用所需要的优良光学品质.这一淀积工艺使不同批次的镀膜稳定性良好,有利于实际反射镜在优质衬底上的最后淀积.单层镜和多层镜在它们的相关能量范围内都有很高的反射率,表面粗糙度也很低,且在整个光学波长区这些特性表现均匀.文中所叙
4、相关研究都是借助x射线反射计量(XRR)法,透射电子显微镜(TEM),光学轮廓仪(OP),以及原子力显微镜(AFM)完成的.关键词:X射线光学;多层膜反射镜;全反射镜;X射线反射测量;磁控溅射;同步辐射;自由电子激光器中图分类号:0434.19;TH703文献标识码:ALargeX—rayoptics:fabricationandcharacterizationofsingleandmultilayermirrorsMi大型X射线光学仪器：单层镜和多层镜的制造与表征第15卷第12期2007年12月光学精
5、密工程OpticsandPrecisionEngineeringVoI.15No.12Dec.2007ArticlelD1004—924X(2007)121869一O9大型X射线光学仪器:单层镜和多层镜的制造与表征MichaelStormer,DietrichHaul31er,WolfgangJager,RiidigerBormann(1.1nstituteofMaterialsResearch,GKSS—ResearchCentreGeesthachtGmbH,Max—Planck—Strasse1,
6、21502Geesthacht,Germany;2.MicroanalysisofMaterials,FacultyofEngineering,UniversityKid,Kaiserstrasse2,24143Kiel,Germany)摘要:15o～500mm长度的各种x射线光学元件可用于光束导引,光束调整,以及单色化.本文介绍了两种不同的大型x射线反射镜.第一种为单层反射镜,这种反射镜以2.掠入射角在软x射线区(5O～200eV)起全反射镜作用,可用于自由电子激光器,如德国汉堡的FIASH.第二种是
7、多层镜,由于它的布喇格反射特性,适于作为反射镜以0.4～1.的入射角用于硬x射线区(2O～50keY),如层析光束线的同步辐射存储环中.两种反射镜都用最新物理汽相淀积法制备,并用磁控溅射来实现x射线光学应用所需要的优良光学品质.这一淀积工艺使不同批次的镀膜稳定性良好,有利于实际反射镜在优质衬底上的最后淀积.单层镜和多层镜在它们的相关能量范围内都有很高的反射率,表面粗糙度也很低,且在整个光学波长区这些特性表现均匀.文中所叙相关研究都是借助x射线反射计量(XRR)法,透射电子显微镜(TEM),光学轮廓仪(O
8、P),以及原子力显微镜(AFM)完成的.关键词:X射线光学;多层膜反射镜;全反射镜;X射线反射测量;磁控溅射;同步辐射;自由电子激光器中图分类号:0434.19;TH703文献标识码:ALargeX—rayoptics:fabricationandcharacterizationofsingleandmultilayermirrorsMi大型X射线光学仪器：单层镜和多层镜的制造与表征第15卷第12期2007年12月光学精密工程Opticsa
