l-edit实验指导书

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1、MEMS原理实验(L-Edit)指导书电子信息科学与技术前言近年来，集成电路设计的发展非常迅速，许多设计必须借助于计算机辅助设计软件来完成，而大部分软件是在工作站上执行的，虽然其功能强大，但是价格昂贵，不利于初学者学习使用。目前，在个人电脑上开发的TannerPro工具为用户提供了完整电路设计的环境，为初学者进入VLSI设计领域提供了帮助。Tanner集成电路设计软件是由TannerResearch公司开发的基于Windows平台的用于集成电路设计的工具软件。该软件功能十分强大，易学易用，包括S-E

2、dit，T-Spice，W-Edit，L-Edit与LVS，从电路设计、分析模拟到电路布局一应俱全。其中的L-Edit版图编辑器在国内应用广泛，具有很高知名度，它不仅可以用于传统的集成电路设计，还可以用于MEMS版图设计，具有强大的集成电路设计、模拟验证、版图编辑和自动布局布线等功能，图形处理速度快、编辑功能强、通俗易学、使用方便，很适用于个人进行集成电路设计或其它微细图形加工的版图设计工作。将其作为《MEMS原理》课程的实验课程，旨在通过对L-edit学习，掌握版图设计的基本流程。实验一L-Edi

3、t的使用一、实验目的1、了解TANNERPro软件的构成及其功能；2、熟悉版图设计工具L-Edit的使用环境；3、掌握L-Edit的使用方法；二、基本原理1、版图设计的概念：版图设计是创建器件或者系统的工程制图的物理描述过程，而这一物理描述遵守有制造工艺、设计流程以及通过仿真显示为可行的性能要求所带来的一系列约束。2、TANNERPro简介TannerToolsPro是一套集成电路设计软件，包含S-Edit,T-Spice,W-Edit,L-Edit与LVS,各软件的主要功能整理如表1所示。表1Ta

4、nnerPro各软件的主要功能软件功能S-Edit（编辑电路图）T-Spice（电路分析与模拟）W-Edit（显示T-Spice模拟结果）L-Edit（编辑布局图，自动布局布线，DRC,电路转化）LVS（版图和电路图对比）TannerPro的设计流程如图1所示。将要设计的电路先以S-Edit编辑出电路图，再将该电路图输出成SPICE文件。接着利用T-Spice将电路图模拟并输出成SPICE文件，如果模拟结果有错误，则回到S-Edit检查电路图，如果T-Spice模拟结果无误，则以L-Edit进行布局

5、图设计。用L-Edit进行布局图设计后要以DRC功能做设计规则检查，若违反设计规则，再将布局图进行修改直到设计规则检查无误为止。将验证过的布局图转化成SPICE文件，再利用T-Spice模拟，若有错误，再回到L-Edit修改布局图。最后利用LVS将电路图输出的SPICE文件与布局图转化的SPICE文件进行对比，若对比结果不相等，则回去修正L-Edit或S-Edit的图。直到验证无误后，将L-Edit设计好的布局图输出成GDSII文件类型，再交由工厂去制作整个电路所需的掩膜板。3、版图设计图例图1热驱

6、动器版图设计图2微梳齿谐振器版图设计图3微马达的版图设计图4MEMS二维旋转镜图5微陀螺仪的版图设计三、实验内容及步骤1、基本操作（1）打开L-Edit程序：双击图标，执行ledit.exe程序，界面如下图所示。（2）另存新文件：选择File---SaveAS命令，打开“另存为”对话框，在“保存在”下拉列表框中选择存储目录，在“文件名”文本框中输入新文件的名称，例如：My_design，后缀名为.tdb。（3）取代设定：选择File---ReplaceSetup命令，将出现一个对话框，单击Fromf

7、ile下拉列表框右侧的Browser按钮，选择所需要的.tdb文件，单击OK按钮，就可以将该文件的设定选择性应用在目前编辑的文件中。（4）编辑组件：L-Edit编辑方式是以组件(Cell)为单位而不是以文件(File)为单位的，每个文件可以有多个Cell，而每个Cell可以表示一种电路布局或说明，每次打开新文件时也自动打开一个Cell并将之命名为Cell0，在编辑画面中的十字代表坐标原点。（5）环境设定：绘制布局图，必须要有确定的大小，因此绘图前先要确认或设定坐标与实际长度的关系。选择Setup命令

8、，打开Design对话框，该对话框共有六页，分别是：Technology(工艺参数)、Grid(网格参数Selection(选择参数)、Drawing(绘图参数)、Curves(曲线参数)、Xreffiles(外部交叉引用参数)。在其中的Technology选项卡中出现使用技术的名称、单位与设定，如下图所示，设定1个Lambda为1000个InternalUnit，也设定1个Lambda等于1个Micron。（1）选择掩膜图形层：用鼠标在模式栏(ModeBar)的掩模