L-edit及器件版图设计.ppt

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1、L-edit及器件版图设计方伟电子科技大学目录版图的介绍L-edit的介绍应用举例什么是电路版图和器件版图集成电路就是把组成电路的元件、器件以及相互间的连线放在单个芯片上，整个电路就在这个芯片上，把这个芯片放到管壳中进行封装，电路与外部的连接靠引脚完成。分立器件单个芯片上只会集成某一种功率应用范围的器件，把这个芯片放到管壳中进行封装，与外部的连接靠引脚完成。什么是电路版图和器件版图版图根据逻辑与电路或者器件功能和性能要求以及工艺水平要求来设计光刻用的掩膜版图，实现IC或器件设计的最终输出。版图是一组相互套合的图形，各层

2、版图相应于不同的工艺步骤，每一层版图用不同的图案来表示。版图与所采用的制备工艺紧密相关。平面工艺allprocessingstepsactonaverythinsurfacelayerofthewafer.所有的IC在一个晶片上同时被制造出来，大大降低了制造成本。举例举例举例举例举例举例认识版图认识版图Y认识版图从平面工艺到立体结构，需要多层掩模板，所以版图是由许多分立的版图叠加而成，每一层都对应工艺过程中某一次或几次掩模。总体映象才会成为花花绿绿的结构。举例：CMOS结构示意图举例：CMOS结构示意图举例：CMOS结

3、构示意图举例：CMOS结构示意图举例：CMOS结构示意图N阱：做N型材料注入的封闭图形。窗口注入形成P管的衬底。举例：CMOS结构示意图有源区：做晶体管的D,G,S,B区域。举例：CMOS结构示意图多晶硅：硅栅和多晶的连线。元胞间一般都有共同的多晶连线。举例：CMOS结构示意图有源区的注入：N+区的注入，漏源连接区或衬底的注入。举例：CMOS结构示意图有源区的注入：P+区的注入，衬底连接区及漏源的注入。举例：CMOS结构示意图接触孔：有源区和外部的接触端子。举例：CMOS结构示意图金属：以铝为材料的金属连线。举例：CM

4、OS结构示意图举例：三极管结构示意图PNP晶体管：各个电极接触孔接不同电位应用。举例：二极管结构示意图PN二极管：同三极管类似，存在寄生效应。版图设计规则版图在工艺中的问题:制版的分辨率问题多层版的套准问题表面不平整问题工艺中的刻蚀和扩散问题梯度引起的效应版图设计规则规则：厂商给定的使其能顺利完成工艺步骤的版图规定版图设计规则a:阱的最小宽度b:不同电位的阱间距c:相同电位的阱间距d:阱对有源区的最小覆盖e:阱外有源区和阱的间距版图设计规则a:有源区的最小宽度b:沟道最小宽度c:有源区间距版图设计规则a:接触的最小宽度

5、b:接触孔间距c:有源区和孔间距d:多晶和孔间距L-EDIT的应用L-edit用文件（file），单元（cell）等来描绘版图设计，一个文件由一个或多个单元组成。对图层数，单元数以及等级数都没有限制，包括了基本所有度数和任意多边形的绘图。如以千分之一微米为最小单位来绘图的话最大可绘制一平方米的版图。L-edit简单实用，在国内具有较高的知名度。L-EDIT的应用L-EDIT的应用L-edit14.0基本的操作界面L-EDIT的应用L-EDIT的应用L-edit常用快捷键L-EDIT的应用L-edit的图层L-edit的

6、图层数是没有限制的，每一个图层都用一个设定颜色的小方块表示，小方块中也可以设置花纹。目前器件版图上的设计都有习惯的颜色和花纹来表示特定的版图图层L-EDIT的应用L-edit的图层当把鼠标箭头放在某个图层上时就会显示该层的名称，点击左键就会选中该图层，任何时候只能选中一个图层。在选中的情况下绘图只会反应在该图层上L-EDIT的应用L-edit的图层单击某一个图层的鼠标右键时就会显示图层选项，图层右侧的三个图标分别表示锁定图层，显示图层和保护图层L-EDIT的应用L-edit的设置双击图层左侧区域或者选中基本工具栏中se

7、tup-application就会弹出版图应用设置菜单，其中包括快捷键设置和版图的一些限定L-EDIT的应用首先设定user为软件文件路径然后进行设置.Pastetocursor:粘贴到鼠标指针。即粘贴时图形将会跟随鼠标移动，直到鼠标落键图形才会消失L-EDIT的应用Autopanning:窗口自动平移。即当鼠标碰到版图窗口边缘时会自动平移窗口跟随鼠标。Activepushrubberbanding:活动推拉。选中后绘图时不必一直按住鼠标来绘制多边形，只用单击起点和结束点即可完成L-EDIT的应用Showeditvec

8、tor:显示编辑矢量。Instancestretch:可伸缩设置。选中可进行缓存例体化拉伸等编辑L-EDIT的应用Toolbars工具条Uselargebutton:选中后编辑键图标将变大。Layericon：规定图层的显示像素。Drawing：选中all后可以编辑所有角度图形，其它选项为45度和90度。L-EDIT的应用keyb