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时间:2018-07-10
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1、變更內容對照表(範例)表單變更前變更後投資人基本資料表(表A)本次無變更本次無變更污染物產生源資料表(表B)本次無變更本次無變更原物料資料表(表C)產品:磊晶晶片3500片/年磊晶晶粒50,000顆/年原料:無磷酸及硝酸氨氣2800公斤/月光阻液550公斤/月去光阻液670公斤/月異丙醇300公斤/月產品:磊晶晶片8000片/年磊晶晶粒100,000顆/年原料:新增磷酸、硝酸氨氣4700公斤/月光阻液935公斤/月去光阻液1140公斤/月異丙醇510公斤/月污染物資料表(表D-1)酸鹼廢水300CMD有機廢水250C
2、MD酸鹼廢水650CMD有機廢水350CMD污染物資料表(表D-2)污泥45噸/月污泥65噸/月污染物資料表(表D-3)廢溶劑2.5噸/月廢溶劑4.3噸/月污染物資料表(表D-4)無磷酸及硝酸氨氣VOCs新增磷酸及硝酸氨氣VOCs*如為變更申請方需檢附本表*8-10-72污染物產生源資料表(表B)(範例)污染物產生源流程示意圖(產品產生作業流程圖)註:1.請於製造流程圖上依序標示各製程單元編號,各單元請給予不同編號;不同產品產線請分別編號表示。【產線以M01、M02…等分別表示;製程單元以E01、E02…等分別表示】
3、(例如M01E01、M01E02…等,以此類推)。2.請於圖面各製程單元針對廢氣、廢水及主要廢棄物產出流向予以標示。3.本表如不敷使用請自行增加頁數,編號以表B-1、表B-2…區分表示。8-10-72產品及原物料資料表(表C)(範例)產品名稱主要成分產品月產量單位用途產品產生流程編號預定開始營運年預估最大產能年磊晶片砷化鎵晶片220,000800,000片照明燈具M01磊晶粒砷化鎵晶粒2,700,00015,500,000顆照明燈具M01原物料名稱主要化學成分原料月使用量單位物理/化學特性(複選)原料使用流程編號預定
4、開始營運年預估最大產能年砷化鎵基板砷化鎵250,000900,000片o氣體o液體n固體o腐蝕性o易燃/易爆性n安定性o其他()M01E01二矽烷二矽烷2748公斤n氣體o液體o固體o腐蝕性n易燃/易爆性o安定性o其他()M01E01矽甲烷矽甲烷1018公斤n氣體o液體o固體o腐蝕性n易燃/易爆性o安定性o其他()M01E01M01E06砷化氫砷化氫3565公斤n氣體o液體o固體o腐蝕性n易燃/易爆性o安定性o其他()M01E01硝酸HNO31831公斤o氣體n液體o固體n腐蝕性o易燃/易爆性o安定性o其他()M01
5、E08鹽酸HCl1833公斤o氣體n液體o固體n腐蝕性o易燃/易爆性o安定性o其他()M01E05M01E08硫酸H2SO41220公斤o氣體n液體o固體n腐蝕性o易燃/易爆性o安定性o其他()M01E05M01E08註:1.所使用之原物料及產品需對應製程編號填寫。2.製程中若使用含有溫室氣體的原物料,或製程中有使用燃料者,請將該原物料或燃料一併列出;並於污染物資料表(表D-4)填具所產生之溫室氣體排放量。8-10-72產品及原物料資料表(表C-1)(範例)原物料名稱主要化學成分原料月使用量單位物理/化學特性(複選)
6、原料使用流程編號預定開始營運年預估最大產能年磷酸H3PO42036公斤o氣體n液體o固體n腐蝕性o易燃/易爆性o安定性o其他()M01E05M01E08氫氟酸HF2240公斤o氣體n液體o固體n腐蝕性o易燃/易爆性o安定性o其他()M01E08雙氧水過氧化氫1324公斤o氣體n液體o固體n腐蝕性o易燃/易爆性o安定性o其他()M01E05氨水NH4OH2137公斤o氣體n液體o固體n腐蝕性o易燃/易爆性o安定性o其他()M01E05M01E09氯氣氯氣2648公斤n氣體o液體o固體n腐蝕性o易燃/易爆性o安定性o其他
7、()M01E05氨氣氨氣635011430公斤n氣體o液體o固體n腐蝕性o易燃/易爆性o安定性o其他()M01E01磷化氫磷化氫4685公斤n氣體o液體o固體o腐蝕性n易燃/易爆性o安定性o其他()M01E01研磨漿SiO2、KOH72129公斤o氣體n液體o固體o腐蝕性o易燃/易爆性o安定性n其他(油性)M01E09註:1.所使用之原物料及產品需對應製程編號填寫。2.製程中若使用含有溫室氣體的原物料,或製程中有使用燃料者,請將該原物料或燃料一併列出;並於污染物資料表(表D-4)填具所產生之溫室氣體排放量。8-10-
8、72產品及原物料資料表(表C-2)(範例)原物料名稱主要化學成分原料月使用量單位物理/化學特性(複選)原料使用流程編號預定開始營運年預估最大產能年光阻液丙二醇乙醚醋酸酯67120公斤o氣體n液體o固體o腐蝕性n易燃/易爆性o安定性o其他()M01E07去光阻液NMP203366公斤o氣體n液體o固體n腐蝕性o易燃/易爆性o安定性o其他()M01
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