06 第四讲 版图绘制及virtuoso_工具软件

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1、版图绘制及Virtuoso工具软件范镇淇2011年3月17日主要内容典型深亚微米工艺流程DesignRule的简介Virtuoso软件的简介及使用PDK简介6/28/20212共41页1、典型深亚微米工艺流程这里介绍目前比较普通的N阱CMOS工艺流程，用到的wafer（晶圆）是P型衬底，所以需要用NWELL来构建p沟器件，而n型MOS管就构建在p衬底上。这里以反相器为例简单的介绍下其制作的基本工艺流程。6/28/20213共41页第一张mask定义为n-well(orn-tub)maska)离子注入：制造nwell。b)扩

2、散：在所有方向上扩散，扩散越深，横向也延伸越多。6/28/20214共41页第二张mask定义为activemask。有源区用来定义管子的栅以及允许注入的p型或者n型扩散的管子的源漏区。6/28/20215共41页忽略版图中无法体现的一些mask：诸如channelstop、阈值电压调整等要介绍的第三张mask为polymask：它包含了多晶硅栅以及需要腐蚀成的形状。6/28/20216共41页第四张mask定义为n＋mask，用来定义需要注入n＋的区域。6/28/20217共41页第五张mask是p＋mask。p＋在Nw

3、ell中用来定义PMOS管或者NMOS体端引出；p＋在Pwell中用来作为欧姆接触。6/28/20218共41页第六张mask就是定义接触孔了。首先腐蚀SiO2到需要接触的层的表面。其次要能够使金属接触到扩散区或者多晶硅区。6/28/20219共41页第七张mask就是金属1（metal1）了。需要选择性刻蚀出电路所需要的连接关系。至此，一个反相器的完整版图就完成了。6/28/202110共41页2、DesignRule的简介图解术语6/28/202111共41页6/28/202112共41页6/28/202113共41页

4、一个简单的例子6/28/202114共41页3、Virtuoso软件的简介及使用创建LayoutCellviewFile->New->Cellview6/28/202115共41页LayoutEditorWindow6/28/202116共41页LayerSelectionWindow(LSW)6/28/202117共41页6/28/202118共41页LayoutEditor菜单（1）Abstract用于版图抽取，DraculaInteractive用于Dracula工具进行DRC等Verify菜单下的DRC等是用于Di

5、va工具的。6/28/202119共41页LayoutEditor菜单（2）6/28/202120共41页DisplayControlWindow6/28/202121共41页Virtuoso下的快捷键的使用（1）Ctrl＋A全选Shift＋BReturn，升到上一级视图Ctrl＋C中断某个命令，一般用ESC代替。Shift＋C裁切（chop）。C复制，复制某个图形Ctrl＋D取消选择。亦可点击空白处实现。Ctrl＋F显示上层等级Shift＋F显示所有等级Ffit，显示你画的所有图形K标尺工具Shift＋K清除所有标尺L标

6、签工具M移动工具Shift＋M合并工具，MergeN斜45对角＋正交。Shift＋O旋转工具。RotateO插入接触孔。Ctrl＋P插入引脚。PinShift＋P多边形工具。PolygonP插入Path（路径）Q图形对象属性（选中一个图形先）R矩形工具。绘制矩形图形S拉伸工具。可以拉伸一个边，也可以选择要拉伸的组一起拉伸U撤销。Undo。Shift＋U重复。Redo。撤销后反悔6/28/202122共41页Virtuoso下的快捷键的使用（2）V关联attach。将一个子图形（child）关联到一个父图形（parent）后

7、，若移动parent，child也跟着移动；移动child，parent不会移动。Ctrl＋W关闭窗口。Shift＋W下一个视图。W前一个视图。Y区域复制Yank。和copy有区别，copy只能复制完整图形对象。Shift＋Y黏贴Paste。配合Yank使用。Ctrl＋Z视图放大两倍（也可点住鼠标右键拖动）Shift＋Z视图缩小两倍Z视图放大ESC键撤销功能Tab键平移视图Pan。按Tab，用鼠标点击视图区中某点，视图就会移至以该点为中心。Delete键删除BackSpace键撤销上一点。这就不用因为Path一点画错而删除

8、重画。可以撤销上一点。Enter键确定一个图形最后一点。也可以双击鼠标左键。Ctrl＋方向键移动Cell。Shift＋方向键移动鼠标。方向键移动视图。6/28/202123共41页4、PDK简介（1）在以前，PMOS管、NMOS管、电容、电阻以及接触孔contact等一系列元器件都是手工绘制的，效率比较