洁净室洁净度的测试方法

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1、ZK-0.08-2004洁净室洁净度测定工艺1范围本工艺规定了（5～9级）洁净室中悬浮粒子的测试方法和就悬浮粒子而言的空气洁净度的评价。本工艺适用于洁净室中悬浮粒子洁净度的监测和洁净度等级的验证。本工艺不包括洁净度1～4级洁净系统的测试。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款，其最新版本适用于本标准。JGJ71洁净室施工及验收规范GB50073洁净厂房设计规范GB50243通风与空调工程施工质量验收规范3术语3.1洁净室cleanroom对尘粒及微生物污染规定需进行环境控制的房间或区域。其建筑结构、装备及其使用均具有减少对该区域内污染源的介入、产生和滞留的功能。3.

2、2粒子particle一般尺寸为0.001~1000μm的固态和液态物质。3.3洁净度cleanliness13ZK-0.08-2004洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。3.4单向流unidirectionalairflow（曾称为层流laminarflow）沿着平行流线，以一定流速向单一方向流动的气流。3.5非单向流non-unidirectionalairflow（曾称为乱流）具有多个通路循环特性或气流方向不平行的，不满足单向流定义的气流。3.6t分布tdistribution正态总体中的一种抽样分布，其分布函数为总体平均值－样本平均值t=————————

3、————…………（1）标准误差3.7置信度上限（UCL）upperconfidencelimit从正态分布抽样得到的实际均值按给定的置信度（此处为95%）计算得到的估计上限将大于此实际均值，则称计算得到的这一均值估计上限为置信度上限。3.8静态测试at-resttest洁净室净化空气调节系统已处正常运行状态，工艺设备已安装，洁净室内没有生产人员的情况进行的测试。工程施工质量竣工验收的测试为静态测试。3.9动态测试operationaltest洁净室已处正常生产状态下进行的测试。4工艺过程方框图13ZK-0.08-2004人员准备熟悉图纸熟悉现场系统正常运行确认运行时间确认仪表准备高效过滤器检漏

4、测试洁净度测试数据整理图1工艺过程方框图5测试方法5.1方法提要本测试方法采用计数浓度法，即通过测定洁净室内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室的悬浮粒子洁净度等级。5.2仪器检测仪器的选用：应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率，仪表应有有效的标准合格证书。13ZK-0.08-20045.2.1光散射粒子计数器使用要点使用仪器时应按照仪器说明书操作。5.2.1.1仪器开机，预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。5.2.1.2采样管必须干净，严禁渗漏。5.2.1.3采样管的长度应根据仪器的允许长

5、度。除另有规定外，长度不得大天1.5m。5.2.1.4计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。5.2.1.5采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。5.2.1.6必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定。以保证测试数据的可靠性。6测试规则6.1测试条件6.1.1送、回风系统，排风系统均能正常运转。6.1.2送风量平衡风管系统风量已经测试与平衡。总风量及各送风口风量均满足设计要求。6.1.3压差空气洁净度不同的洁净室之间的压差满足设计要求，空气洁净度级别要求高的洁净室对相邻的空气洁净度级别低的洁净室一般要求呈相对正压。6.1.4温度和湿度13ZK-0

6、.08-2004洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃～24℃，相对湿度控制在45%～60%之间为宜）。6.1.5清洁工作洁净室及全部风管系统清洁工作应完成且确认。6.2测试状态分静态测试和动态测试，测试报告中应标明测试时所采用的状态。静态测试时，室内测试人员不得多于2人。动态测试时，室内测试人员规定同静态。6.3测试时间6.3.1对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。6.3.2对非单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。6.4采样点的规定6.4.1最低限度的采样点数NL（见表1）表1最低限度的采样点数NL

7、测点数NL2345678910洁净区面积A(㎡)2.1~6.06.1~12.012.1~20.020.1~30.030.1~42.042.1~56.056.1~72.072.1~90.090.1~110.0注：1在水平单向流时，面积A为与气流方向呈垂直的流动空气截面的面积。2最低限度的采样点数NL=A0.5计算（四舍五入取整数）。6.4.2采样点应均匀分布于整个面积内，并位于工作区的高度（或距地平