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1、柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景?32?材料导报2005年3月第19卷第3期柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景何维凤赵玉涛李素敏李长生(1江苏大学材料科学与工程学院,2江苏大学微纳米机械研究中心,镇江212013)摘要随着电子器件向小型化和轻便化方向发展,柔性衬底的透明导电薄膜将成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品,因此其研究备受关注.综述了柔性透明导电膜的主要制备技术及其优缺点,阐述了"-3前该领域的最新研究成果及应用,并讨论了工业应用对柔性透明导电膜的性能要求及其未来发展趋势.关键词透明导电薄膜柔性衬底ITOZnO中图分类号:TN304文献标识码:APrepar
2、ationMethodsandDevelopmentProspectofFlexibleTransparentConductiveFilmsHEWeifengZHAOYutaoLISuminLIChangsheng(1SchoolofMaterialScienceandEngineering,JiangsuUniversity;2MicrometreandNanometreMechanicalResearchCenterofJiangsuUniversity,Zhenjiang212013)AbstractFlexibletransparentconductivefil
3、miSoneoftransparentfilmsdepositedonflexiblesubstrates,whichhasnotonlycurrent—illuminationcharacteristicsoffilmsdepositedonhardsubstratesbutalsosomeuniquead—vantagessuchasflexibility,weight—light,unbrokenpropertyetc.Withthedevelopingofelectronicdevicetowardminiaturizingandhandlingeasily,f
4、lexibletransparentconductivefilmshavebeengainingmoreconcern,anditishope—fultObecomesuccedaneumofhardsubstrateones.Thispaperreviewsthemainpreparationmethods,advantagesanddisadvantagesofflexibletransparentconductivefilms,anddescribestheirperformancerequiredandextensiveflexibletransparentco
5、nductivefilms.Keywordstransparentconductivefilm,flexiblesubstrate,ITO,Zn0透明导电膜是指那种对可见光(一38O～780nm)的光透过率高(T>80%),电阻率高(<10Q?cm)的薄膜,目前包括:金属系,氧化物膜系(TCO),其他化合物膜系,高分子膜系,复合膜系等,其中应用最为广泛的是前两种.透明导电膜以接近于金属的导电率,可见光范围内的高透射比以及其半导体特性,广泛地应用于太阳能电池,显示器,气敏元件,抗静电涂层以及半导体/绝缘体/半导体(SIS)异质结Ⅲ,现代战机和巡航导弹窗口[2等
6、.当前TCO膜的研究较深入,品种也很多,但主要集中在氧化铟锡(IndiumTin0xide简称ITO)薄膜以及In20和其他氧化物混合的领域.IT0薄膜材料在薄膜晶体管(TFT)[3制造,平板液晶显示器(LCD)【4],太阳能电池透明电极以及红外辐射反射镜涂层,火车飞机用玻璃除霜,建筑物幕墙玻璃等方面获得了广泛应用,形成了一定的市场规模.另外,ZnO基透明导电薄膜,尤其是氧化锌铝(AI—dopedZnO,简称AZO)的研究和开发近年来已成为热点,备受关注,主要是因为它的成本低于ITO,无毒,易光刻加工,在氢气氛中的化学稳定性比ITO好,有可能替代IT0产品.目前广泛应用
7、的透明导电膜是在硬质材料衬底上制备的,这些硬质材料衬底一般是玻璃和陶瓷.与硬质材料衬底上沉积的TCO膜相比,在有机柔性基片上制备的透明导电薄膜不仅具有玻璃基片透明导电膜的光电特性,而且具有许多独特优点,如:可挠曲,重量轻,不易破碎,易于大面积生产,便于运输,设备投资少等.随着电子器件的小型化和轻便化,柔性衬底的透明导电薄膜的研究引起了人们的广泛关注,有望成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品.但是有机柔性透明导电薄膜的研究在国内还处于起步阶段,因此,加强对有机衬底透明导电薄膜制备技术和性能的研究尤为重要和迫切.本文综述了柔性透明导电膜的主
