矿物材料现代测试技术武汉理工大学4电子显微镜ppt课件.ppt

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1、第三部分电子显微分析1武汉理工大学资环学院管俊芳第二章电子显微镜成像原理电子显微分析1仪器构型2成像2武汉理工大学资环学院管俊芳1仪器构型（1）电子显微分析第二章电子显微镜成像原理3武汉理工大学资环学院管俊芳1仪器构型（2）电子显微分析第二章电子显微镜成像原理4武汉理工大学资环学院管俊芳1仪器构型（3）电子显微分析第二章电子显微镜成像原理5武汉理工大学资环学院管俊芳2成像（1）电子显微分析第二章电子显微镜成像原理6武汉理工大学资环学院管俊芳2成像（2）电子显微分析第二章电子显微镜成像原理Electronmicroscopesusesomethingsimilartoalightbu

2、lbtoproduceelectrons.Thisiscalledthefilament.Thefilamentisapieceofwireandwhenelectricitygoesthroughit,notonlyislightgivenoff,butalsoelectrons.Theseelectronsarefocusedbyaseriesofmagnets.Themagnetsaremademagneticbyelectricityandarecalledelectromagnets.Theelectronscanbefocusedonthesampleandwhenth

3、eyhitthesampleasignalisgivenoff.7武汉理工大学资环学院管俊芳2成像（3）电子显微分析第二章电子显微镜成像原理AspecialtypeofdetectoractslikeaTVcameraandtheimageofthesampleisdisplayedonaTVscreen.Bychanginghowtheelectronsarebentandhowthebeamofelectronsstrikesthesample,youcanchangethemagnificationandfocusoftheTVimage.8武汉理工大学资环学院管俊芳2成像（

4、4）电子显微分析第二章电子显微镜成像原理Themeaningof“SCANNING”9武汉理工大学资环学院管俊芳2成像（4）电子显微分析第二章电子显微镜成像原理Finally，wegetthe“Image”.10武汉理工大学资环学院管俊芳第三章电子束与物质之间的作用电子显微分析1概述2二次电子(SecondaryElectron）3背散射电子(Back－scatteredElectron)4透射电子（TransmittedElectron）5吸收电子（AbsorptionElectron）6X射线（Xray）7俄歇电子（AugerElectron）8阴极发光（Cathodo－lum

5、inescence）11武汉理工大学资环学院管俊芳1概述（1）电子显微分析第三章电子束与物质的作用高速运动的电子束轰击样品，会产生很多物理信息，主要有：二次电子（SecondaryElectron）背散射电子（Back－scatteredElectron）透射电子（TransmittedElectron）吸收电子（AbsorptionElectron）X射线（Xray）俄歇电子（AugerElectron）阴极发光（Cathodo－luminescence）12武汉理工大学资环学院管俊芳1概述（2）电子显微分析第三章电子束与物质的作用13武汉理工大学资环学院管俊芳1概述（3）电子显

6、微分析第三章电子束与物质的作用只有了解上述物理信息的产生原理及所代表的含义，才能设法检测它们、利用它们。扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscopy)(SEM)透射电子显微镜(TransmissionElectronMicroscopy)(TEM)电子探针(ElectronProbeMicroscopicAnalyzer)(EPMA)分别侧重于对上述某一方面或几方面的信息进行测量分析的。14武汉理工大学资环学院管俊芳2二次电子(SecondaryElectron）(1)电子显微分析第三章电子束与物质的作用二次电子是指被入射电子轰击出来的样品中原子的核外电子。

7、由于原子核外层价电子间的结合能很小，当原子的核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量后，即可脱离原子核变成自由电子。如果这种散射过程发生在比较接近样品表层处，则那些能量大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。15武汉理工大学资环学院管俊芳2二次电子(SecondaryElectron）(2)电子显微分析第三章电子束与物质的作用16武汉理工大学资环学院管俊芳2二次电子(SecondaryElectron）(3)电子显微分析第三章