常用的真空检漏法.doc

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1、常用的真空检漏法来源：真空技术网作者：管理员发布时间：2007-09-17检漏方法工作压力[Pa]现象设备最小可检漏率[Pam3／s]静态升压法 抽真空后封闭，压力上升真空计10-5～10-6放电管法 放电颜色改变放电管10-3～10-4高频火花检漏器法103～10-1亮点，放电颜色改变高频火花检漏器10-3～10-4真空计法热传导真空计法103～10-1施用示漏物质真空计读数变化热偶或电阻真空计10-6电离真空计法10-2～10-6电离真空计10-9差动热传导真空计法103～10-1热传导真空计差动组合10-7差动电离真空计法10-2～10-6电离真空计差动组合10-1

2、0有吸附阱的热传导真空计法103～10-3液氮冷却活性炭阱，热传导计10-7有吸附阱的电离真空计法10-2～10-6液氮冷却硅胶阱，冷阴极电离计10-11～10-13氢钯法7×101～10-5氢气通过钯管进入真空规，读数变化钯管，电离计10-7～10-11离子泵检漏法10-5～10-7示漏物质使离子流变化离子泵10-9～10-12卤素检漏仪内探头法10～10-1输出仪表读数变化卤素检漏仪10-7～10-9氯质谱检漏仪法10-2输出仪表读数及声响频率变化氦质谱检漏仪10-12～10-14质谱计法射频质谱计法10-2～10-4施用示漏物质输出仪表读数变化射频质谱计10-6～1

3、0-11回旋质谱计法10-3～10-7回旋质谱计10-7～10-12四极滤质器10-1～10-4四极滤质器10-10～10-11检漏方法工作条件现象设备灵敏度[Pam3／s]备注荧光法荧光材料，有机溶剂荧光材料发光紫外线光源10-9～10-11 放射性同位素背压法放射性气体，背压抽真空计数器输出信号背压室，闪烁计数器10-12背压数小时电子管慢性漏气的加速测定法背压室充氩气，电子管可为电离规仪表读数变化背压室，测量电路10-9～10-11背压数小时氦质谱检漏仪背压法背压室充氦气．抽真空仪表读数及声响频率变化背压室，氦质谱检漏仪  检漏方法工作条件现象设备最小可检漏率(Pa

4、m3／s)备注水压法 漏水人眼10-3～100-4 压降法充3×105Pa空气压力下降压力计1×10-3 听音法同上咝咝声人耳5×lO-3可用听诊嚣超声法同上超声波超声波检测器1×10-3 气泡法同上水中气泡人眼10-5～10-6 同上水中气泡人眼10-924h积累同上涂沫肥皂液发生皂泡人眼1×10-5 氮气检漏法充3×105Pa氨气溴代麝香草酚兰试带变色人眼10-7观测20s同上溴酚兰试纸变色人眼10-1124h积累充2.5×105Pa氨气复合涂料显色人眼10-81.5小时积累卤素检漏仪吸嘴法充卤素气体检漏仪读数变化伴有音响卤素检漏仪10-6～10-10可与空气混合充入

5、放射性同位素气体法充放射性气体计数器信号变化闪烁计数器1×10-7 氦质谱检漏仪吸嘴法充氦气检漏仪读数变化伴有音响氦质谱检涌仪10-8～10-10 气敏半导体检漏仪法充气敏气体检漏仪读数变化气敏半导体检漏仪