真空检漏基本知识

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1、真空检漏基本知识作者：dodoo时间：2011年1月27日第一部分检漏1．检漏的基本概念真空检漏检测真空系统的漏气部位及其大小的过程漏气/实漏气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象虚漏相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象气密性表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气最小可检漏率指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值最佳灵敏度指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最

2、小漏率。对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度检漏灵敏度指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度反应时间即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间消除时间即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间漏率单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量2．漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说

3、明，则是指在漏孔入口压力为531.01×10Pa，出口压力低于1.33×10Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。3漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam／s。为了方便，有时用帕斯卡升／秒，记为PaL／s。3．最大容许漏率真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。动态真空系统

4、的最大容许漏率qLmax应满足：qLmax≤1/10PwS(1)；式中Pw----系统工作压力，S----系统的有效抽速；对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。如果要求在时间t内,容积为V的系统的压力由p升至pt，则其最大容许漏率qLmax应满足：qLmax≤(pt-p)V/t(2)各种真空设备的最大容许漏率可参考表1确定。同样的漏孔,如果通过的气体不同,漏率是不同的,对于较大的漏孔来说,对于不同种类的气体,同一漏孔的

5、漏率一般与其粘滞系数成反比.4．漏孔的气流特性气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。设环境温度T=296K，入口压力p2=1.01×105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态见表2。第二部分检漏技术1．检漏方法的选择比较理想的检漏方法应满足下列要求：①合适的检漏灵敏度在具体的检漏条件下，所选择方法的检漏灵敏度，通常高于最大容许漏率1～2个数量级。②反应时间和清除时间短③不仅

6、能找出漏孔的位臵，而且还能测定漏率找出漏孔位臵的方法有喷吹法和吸枪法。喷吹法适用于可抽空的被检件。高频火花检漏器法、真空计法、固定式卤素仪法和氦质谱仪法归于喷吹法。吸枪法适用于不允许抽空、放气量大、复杂管道等被检件。气泡法、荧光法，氨检漏法及吸枪式检漏仪法可归于吸枪法。测定漏率的方法是测量示漏物质的漏率变化或浓度变化量。根据条件可采用适当的方法。④品质优良的示漏物质示漏物质具有在空气中含量少，灵敏度高，不腐蚀、不污染被检件、抽气系统及检漏仪表，无毒、阻燃和防爆。⑤稳定性好、检漏范围宽③结构简单、操作维修方便，成本低由于上述要求有些是相互矛

7、盾的，若想采用一种方法都能满足是不合实际的。所以只要根据具体情况能够满足其主要要求的检漏方法就是较为适宜的。实践证明，检漏人员的素质、工作经验也是选择检漏方法的重要依据之一。2．对检漏人员的要求①具有高度的责任心和认真的工作态度；②具有丰富的检漏实践经验；③具有一定的机械结构、物理、化学、材料及焊接等方面的知识；④了解被检件结构及其运行工艺，熟悉所用检漏方法或仪器原理及性能；⑤掌握所用示漏物质的检漏特性。例如，氦气轻，采用喷吹法检漏时，应遵守从上至下和从近至远的原则(即先从被检件上部顺序至下部和从靠近检漏仪顺序至远离的部位)；采用吸枪法检

8、漏时，应遵守从下至上和从近至远的原则。但是，卤素气体重，除遵守从近至远的原则外，在喷吹法和吸枪法中，应分别遵守从下至上和从上至下的原则。检漏人员满足上述要求，就能解释和解决检漏工作中出现的形形