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时间:2020-07-08
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1、真空镀膜机操作流程1打开冷凝水。2调节好舟,放一颗银粒到舟(4号舟)上,放置石英片(镀银的面朝下)。3打开总电源,进入操作界面,将样品和4号舟的挡板复位。4开电流,看电路是否连通。5关闭通空气阀门,打开机械泵,开机械泵阀门,抽真空至10Pa以下。6关闭机械泵阀门,打开分子泵,打开分子泵阀门,抽真空至6*10-5Pa。7开电流加热装置,电流缓慢增大30-40A,70-80A,打开旋转开关,将样品和4号舟的挡板打开,打开样品旋转装置。8在电流缓慢增大过程中,打开膜厚度检测装置。加至140A时,此时金属增发,开始镀膜。等膜厚到达35nm-
2、40nm时关闭电流。9关闭分子泵阀门,在操作界面关闭分子泵,等转速降为0时,可关闭分子泵电源。10打开放气阀,放气完毕,取出样品。11关闭通空气阀门,打开机械泵,开机械泵阀门,抽真空至10Pa以下。12关总电源,关冷凝水,实验结束。
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