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时间：2020-09-04
《真空镀膜机控制流程图.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、关预抽阀，开前级阀，检查高阀关闭开扩散泵，延时1小时，温度到达170度开机械泵，延时5S开机过程：检查水、气、电正常接通无报警关机过程：检查高阀关闭，预抽阀关闭，前级阀打开Y关机械泵关前级阀，延时5S停扩散泵，延时2小时自动控制控制流程：自动控制扩散泵温度>=设定温度开高阀，延时3S开镀室电加热开电离规镀膜结束关闭偏压电源启动一、二层。。。开启偏压电源，延时60S靶电压达到设定值开前级阀，延时3S关预抽阀，延时3S真空度<5Pa开前级阀关前级阀，延时3S门、充气阀、光栏、截止阀是否关闭到达本底真空开Ar流量计和截止阀，延时3
2、S关光栏真空度到达溅射压强关溅射电源，流量计，截止阀，开光栏，延时10S关高阀，关真空计，电离规，延时2S开充气阀启动转架，启动靶旋转开启溅射电源清靶门开，自动关充气阀
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