拉晶作业指导书范文.doc

《拉晶作业指导书范文.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、拉晶作业指导书范文　　文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORKSTATION工序名称真空泵的清理及泵油的更换隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)forUpdate更新原因工艺改进部门编制签名日期1.目的规范真空泵的清理及泵油的更换操作2.适用范围适用于真空泵的清扫及泵油更换作业3.作业内容一·放油　　1、准备好专用工具及纸巾置于真空泵位置；关闭主泵球阀；　　2、将废油桶置于真空泵放油口下方,打开上腔放油开关，取下泵尾气管；　　3、堵严尾气口，

2、缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快慢放油，废油倒入指定废油桶；　　4、放完油后关闭上、下腔放油阀，然后断开真空泵对应控制柜里的空气开关；　　5、在控制柜上挂上“禁止操作”牌；注意事项及原由　　1、确认关闭主泵球阀是否关闭到位，否则会造成炉内倒吸气；　　2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，致使油烟外泄扩散到泵房；　　3、放完油后，切记关闭上、下腔的放油阀，防止漏油；　　4、处理废油时注意泵房卫生；　　5、一定要断开真空泵真空开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害；　　6、出现异常立刻处理并报告

3、班长；二·清泵　　1、用板手打开真空泵侧盖，置于适当位置；　　2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污；　　3、70泵下腔滤油网要用汽油进行清洗干净；　　4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；注意事项及原由　　1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油；　　2、70泵切记安装滤网，喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态；　　3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死；　　4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶；　　5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；三·注油　　1、打开真空泵注油口；　　2

4、、将加油漏斗放入真空泵注油口；　　3、用吸油枪从油桶给油壶开始注油到2/3，用油壶嘴对准漏斗，缓慢地给真空泵注油；　　4、观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置；　　5、取下漏斗，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油；　　6、装上尾气管，盖好注油口；ORIGINATORAPPROVE审核QC质量MFG制造文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORKSTATION工序名称真空泵的清理及泵油的更换隶属单晶车间PAGE第2页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)f

5、orUpdate更新原因工艺改进部门编制签名日期　　7、开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗1/3—1/2位置。　　若低于下限重复以上操作；注意事项及原由　　1、加油漏斗保持清洁，防止异物进入泵腔；　　2、注油时注意注油管掉落且不要超过上限油位以防喷油；　　3、切记安装好尾气管及注油口，以防开泵时喷油或油气污染泵房；　　4、注意清理真空泵及周围卫生；　　5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；　　6、泵油加好后，关闭真空泵控制按钮，取走“禁止操作”牌，做好记录；4.仪器/工具/材料拆泵腔专用工具、棉纱

6、或毛巾、油桶、漏斗ORIGINATORAPPROVE审核QC质量MFG制造5.相关表格《单晶炉操作记录》文件编号HNY/TD-WI-CZsi-001版本/修改PRODUCT产品单晶硅棒WORKSTATION工序名称拆炉取单晶隶属单晶车间PAGE第1页OF共2页文件名称单晶炉作业指导书A01/00Reason(s)forUpdate更新原因工艺改进部门编制签名日期　　1、目的规范拆炉取单晶工序，确保单晶安全取出并放到指定位置　　2、适用范围拉晶过程中单晶的取出　　3、作业内容一·作业准备　　1、准备好线手套、耐高温手套、纸巾；　　2、准备好钢丝

7、钳、取单晶的小车；　　3、用沾酒精的纸巾将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；注意事项及原由　　1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；　　2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍，防止交叉污染；　　3、所有控制接线及开关在彻底清扫炉体时均不得碰断或碰坏；二·单晶取出　　1、停炉4.5小时后，待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀，后关闭真空泵电源，然后进行热态检漏并做好相应记录；　　2、待单晶冷却5.5小时后，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；　　3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气

8、阀门，流量调至最大，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；　　4、把安全接盘移到