退火处理对玻璃表面沉积的ZnO薄膜微观形貌与性能的影响-论文.pdf

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1、硅酸盐学报第41卷第6期Vo1．41，NO．62013年6月J0URNALOFTHECHINESECERAMICS0CIETYJune，2013DOh10．7521~．issn．0454-5648．2013．06．17退火处理对玻璃表面沉积的ZnO薄膜微观形貌与性能的影响阮鑫栋，姜妍彦，杜兴科，刘贵山，胡志强，刘敬肖(大连工业大学纺织与材料工程学院，辽宁大连116034)摘要：以ZnfNO~．)2·6H2O为前驱体，采用超声喷雾热解法在500℃下、在钠钙硅浮法玻璃衬底上制备了ZnO薄膜。分别在不同温度(500、550、600℃)和不同时间

2、(30、60、120min)对制备的ZnO薄膜进行了退火处理。研究退火条件对ZnO薄膜微观结构、形貌以及光学性能的影响。结果表明：退火处理能提高ZnO薄膜的c轴取向；随着退火时间的延长，ZnO薄膜附着强度随之增加，但c轴取向度呈先增强，至120min时又开始呈下降的趋势；随着退火温度的升高，ZnO薄膜的C轴取向亦出现先显著增强，之后又开始下降的趋势，同时可见光透过率亦呈相同的变化趋势。最佳退火条件为500℃温度保温60min，此时薄膜不仅c轴取向生长优势明显，结晶质量良好，表面颗粒大小均匀，致密平滑，同时薄膜的可见光透过率由退火前的70％

3、提高到90％。关键词：氧化锌薄膜；超声喷雾法；退火处理；微观形貌中图分类号：TQ171．7文献标志码：A文章编号：0454-5648(2013)06~0820-05网络出版时间：2013-05-2116：36：22网络出版地址：htp：／／www．cnki．net／kcms／detail／11．2310．TQ．20130521．1636．017．htmlEfectofAnnealingonMierostructureandPropertiesofZnOThinFilmsDepositedonGlassSurfaceRUANXindong，

4、JIANGYanyan，DUXingke，LIUGuishan，HUZhiqiang，LIUJingxiao(SchoolofTextileandMaterialEngineering，DalianPolytechnicUniversity,Dalian116034，Liaoning，China)Abstract：ZnOthinfilmswerepreparedbyaultrasonicspraypyrolysisfUSP)methodonsoda．1ime．silicafloatglasssubstrateatthedeposition

5、temperatureof500℃withzincnitrateasaprecursor．TheZnOthinfilmswereannealedatdiferenttemperatures(500．550，600℃)anddurations(30，60，120min)，respectively．Influenceofannealingconditiononthemicrostructure，morphologyandopticalpropertiesofthefilmsWaSinvestigated．Tlleresultsindicate

6、thattheannealingtreatmentimprovesthequalityoftheZnOfilmandincreasestheC．axisorientation．TheadhesionstrengthoftheZnOfilmincreaseswiththeextensionoftheannealingduration．however,theC．axisorientationdegreefirstincreasesandthendecreasesat120min．TheC—axisorientationandthevisibl

7、e1ighttrans．mittancefirstlyincreaseandthendecreasewiththeincreaseofannealingtemperature．The丘lmobtainedattheoptimumannealingtemperatureof500℃andthedurationof60minhasagoodcrystallizacionquality,uniformcrystalsizeanddensesmoothsurface．givingtheimprovedopticalproperties．Thevi

8、siblelighttransmittanceincreasesfrom70％t090％afterannealingtreatment．Keywords：zincoxidethinfilm；u