氧化物阻变存储器的性能调控及功能化基础.pdf

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1、密级：＿＿Ｍ啊妓Ａ聲ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＢｅｉｊｉｎｇ博馨Ｉ论文论文题目：氧化物阻变存储器的性能调控及功能化基础．学号Ｂ２０１２０３１８；作者孙一慧：专业名称：材料科学与工程．？、２０１６年１２１９日，／月氧化物阻变存储器的性能调控及功能化基础Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｍｏｄｕｌａｔｉｎａｎｄｆｕｎｃｔｉｏｎａｌａｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｇｐｐｏｘｉｄｅｒｅｓｉｓｔｉｖｅｒａｎｄｏｍａｃｃｅｓｓｍｅｍｏｒｙ一研巧生姓名：孙慧指导教师姓

2、名：间小琴北京科技大学材料学院北京１０００８３，中国ＤｏｃｔｏｒＤｅｇｒｅｅＣａｎ出ｄａｔｅ：ＳｕｎＹｉｈｕｉＳｕｐｅｒｖｉｓｏｒ：ＹａｎＸｉａｏｑｉｎＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏＢｅｉｉｎｇｙｊｇ３０ＸｕｅｕａｎＲｏａｄ，Ｈａｉ出地ＤｉｓｔｒｉｃｔｙＢｅｉｉｎ１０００８３，Ｐ．Ｒ．ＣＨＩＮＡｊｇＴＷＡ：＂分类４密级：脚。１０００８ＵＤＣ：中化代Ｗ；北京科技大学博±学位论

3、文氧化物阻变存储器的性能调控及功能化基础论文题目：作者—一慧：孙則、琴教ｇ单位北斜械大学指导教师：：张跃教授单化北京科肪学指导小组成员：：单位：论文提交日期：２０１６年口月１９日学位授予单位：北京科技大学化Ｖ科技乂学博ｈ学位论文致谢本论文自课题立意、研究方法、实验分析至论文撰写等皆于导师闺小琴教授与张跃教授之勤为指导下完成。首先我要感谢导师闷小琴教授。巧老师在文献调研、课题立意、实验方案设计、数据分析、机理讨论、论文撰写等方面都给予极大支持和帮助。令—，罔老师在指导过程中，我感动的是，不仅仅是大方向上的把控更是Ｗ

4、种一起学习的态度在与我相互讨论。间老师不仪ａ其严谨的学术作风、开阔的思维方式、敏锐的洞察能为和积极的创新精神，使我在学习和科研上受益匪巧，，更是在生活中给予了备牵的关怀也保证Ｔ本论文的顺利完成。闯老师。精益求精的研巧态度和吃苦耐劳的敬业精神，令我深感钦化，使我受益终生更加要感谢的是张跃教授。张老师是整个实验室的顶梁往，为整个实验室提供了一流的科研条件和宽松自由的科研氛围，这使得我们有更多的机会接触到全球最顶尖的学术圈。同时，张老师在大方向、思维方式上进行高屋。、建绳的指导张老师对学生认真负责，经常为学生指导工作修改文章工作到很晚。张老师严于律己、宽Ｗ

5、待人的崇高风范，朴实真诚的谦逊品格，为我树立了学习的榜样。衷也感谢实验室齐俊杰老师、廖庆亮老师、张锋老师、康、顾有松老师一卓老师在科研学术上对我多方面的帮助。此外，还要感谢和我起工作、实验、分析和讨论，给予我很大帮助的师兄师姐、师弟师妹们，他们包括章潇慧、李培峰、王増泽、孙旭、衣芳、赵艳光、中衍伟、白智明、林沛、刘硕、一一陆盛楠、郑含、刘俘冲、张光杰、Ｔ、曹诗瑶、李勇、魏庆、韩林宏等等。在化年来共同的学习和科研生活中我们己经蓬立了令人难忘的深厚友谊。本课题感谢科技部国家重点基础研巧发展计划（２０１３ＣＢ９３２６０２）、科技部国际重大合作合作与交流计划

6、（２０１２ＤＦＡ５０９９０）、国家自然科学基金面上项目（５１２３２００１，５１３７２０２３）和商等学校学科创新引智计划（ＮＯ．Ｂ１４００３）等项目的资助。感谢北京科技大学对我的培养。在这里我感受到了钢铁摇篮的育人情怀，。学术大巧的治学风采，，收获了同窗的深厚友谊最后感谢百忙之中评阅论文和参加答辩的各位专家！－－Ｉ北山科技乂学博上？学位论文巧要半导体存储器是电子设备量基本的元器件之一，也是现代信息技术的重要组成部分。然而随着技术的快速发展，制造工艺逐渐遇到瓶颈，晶体管线宽逐渐接近量卡级别，而人们对晶体管的处理能力、单位容量的要求却不断增

7、加一，新型的存储器件逐渐成为研究的热点。阻变存储器作为种新型的非易失性存储器，在功耗、容量、速度、寿命等方面都具有非常大的优势。在一诸多材料体系中，氧化物阻变存储器被认为是最具应用潜力的种。然而针一，仍然需要进步的研究对阻变存储器的阻变机理；阻变存储器更多功能化的应用仍需维续探索。为此，本文主要围绕ＺｎＯ材料，利用其介电性能优异、制备方法多样和性能调控容易的优势，作为阻变材料构建粗变存储器，来研究阻变存備器的运行机理