晶体硅表面制绒参数优化分析_种法力

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1、第43卷第5期表面技术2014年10月SUＲFACETECHNOLOGY·87·晶体硅表面制绒参数优化分析种法力(徐州工程学院，江苏徐州221008)摘要:目的研究酸(HF和HNO3)、碱(NaOH)腐蚀液对晶体硅制绒的影响。方法通过改变NaOH浓度、异丙醇浓度、腐蚀时间研究单晶硅片腐蚀，通过改变酸溶液浓度比研究多晶硅片腐蚀，通过分析微观形貌及表面反射率等考察制备晶体硅制绒工艺参数。结果单晶硅最佳的腐蚀

2、液配比为:NaOH质量浓度15g/L，热碱温度80℃，异丙醇体积分数15%～20%，腐蚀时间10min。在最优化参数下，晶体硅绒表面金字塔大小均匀，高度约为5μm，相邻金字塔间彼此相连，硅表面反射率降低至15%。在V(HF)∶V(HNO3)∶V(CH3COOH)=10∶1∶10，腐蚀速率为2μm/min时，晶体硅绒表面呈现较好的沟壑状绒面结构。结论溶液酸碱性的强弱和异丙醇对晶体硅制绒有较大影响，并且直接影响晶体硅的表面反射率。关键词:单晶硅;制绒;反射率中图分类号:TM914．4文献标识码:A文章编

3、号:1001-3660(2014)05-0087-04ParameterOptimizationofTextureofCrystallineSiliconWafersCHONGFa-li(XuzhouInstituteofTechnology，Xuzhou221008，China)ABSTＲACT:ObjectiveTostudytheeffectofthemixturesolutionofNaOH，HFandHNO3onthetextureofcrystallinesiliconwafers．Me

4、thodsThemonocrystallinesiliconwaferwascorrodedbychangingNaOHconcentration，isopropylalcohol(IPA)con-centrationandcorrosiontime．Thepolycrystallinesiliconwafer(Poly-Si)wascorrodedbychangingtheconcentrationofacidsolu-tion．ThetexturewasanalyzedbymeansoftheS

5、EMimagesandthesurfacereflectanceofsilicon．ＲesultsTheoptimumcorrosionparameterswere15g/LforNaOH，15%～20%forIPAvolumefraction，10minutesforcorrosiontimeat80℃forthermokalite．Attheseoptimizedparameters，thesizeofpyramidswasevenwithheightofabout5μm．Theadjacent

6、pyramidswerelinkedtoeachotherandthesurfacereflectanceofsiliconwasreducedto15%．Thecorrosionratewas2μm/minatthemixturesolutionofV(HF)∶V(HNO3)∶V(CH3COOH)=10∶1∶10，andthetextureshowedlikeravine．ConclusionTheacid-basepropertyofthesolutionandtheadditionofIPAh

7、avesignificantinfluenceonthetextureofcrystallinesiliconanddirectlyaffectthesurfacere-flectanceofsilicon．KEYWOＲDS:monocrystallinesilicon;texturization;reflectance［1—2］硅材料对太阳光长波(＞1100nm)的反射率约为35%，对短波(＜400nm)则高达54%。为了减收稿日期:2014-04-17;修订日期:2014-06-16Ｒeceiv

8、ed:2014-04-17;Ｒevised:2014-06-16基金项目:江苏省高校自然科学基金(12KJD480002);江苏省“青蓝工程”资助项目Fund:SupportedbytheNaturalScienceFundforCollegesandUniversitiesinJiangsuProvince(12KJD480002)andJiangsuProvinceQinglanProject．作者简介:种法力(1977—)，男，山东枣庄人，副教授，主要从事能源电