南海奇美CDA系统介绍-典尚设计-三维动画效果图

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1、南海奇美CDA系统介绍主讲人：邹建兴南海奇美专案介绍TM-ME/BS-制程系統25OF25DATE82108210.b部門文件資料夾設計規範2dcaa095a17ace71559d126541aa53c5.docREV.01.1系統用途本系统分两种气体：CDA、IACDA即CompressedDryAir,主要用於晶片經水清洗後之吹乾用、製程設備驅動器動力、…..等其他用途。主要运用于无尘室。露点为-70℃IA即InstrumentAir,主要用于設備驅動器動力、气动阀，仪器仪表等用途。主要运用于一般区。露点为+2℃1.2系统流程图南海奇美专案介绍TM

2、-ME/BS-制程系統25OF25DATE82108210.b部門文件資料夾設計規範2dcaa095a17ace71559d126541aa53c5.docREV.01.3工作流程压缩流程：注：空压机出口压力为8.5KG空气的标准状态：在温度T=20℃,绝对压力P=0.1MPa,相对湿度φ=65%时的空气状态。空气密度是1.185KG/M3，空压机、吸干机、过滤器单位一般写作Nm3/Min压力露点：湿空气被压缩后，水蒸气密度增加，温度上升。压缩空气冷却时，相对湿度便增加，使其相对湿度达100%时的温度。干燥流程：注：冷冻式干燥机-----达露点温度+2

3、~4℃，应用在IA系统吸附式干燥机-----达露点温度-70℃，应用在CDA系统。南海奇美专案介绍TM-ME/BS-制程系統25OF25DATE82108210.b部門文件資料夾設計規範2dcaa095a17ace71559d126541aa53c5.docREV.01.4主要設備本系统选用了五台离心机（5700NCMH；出口压力8.5KG）厂牌：ATLAS两台螺杆机（2400NCMH；出口压力8.5KG）厂牌：ATLAS三台吸附式干燥机（6600NCMH；-70℃）厂牌：PROAIR三台冷冻式干燥机（2400NCMH；+2℃）厂牌：EVERAIR四组

4、過濾器（前置、活性炭、后置、最终）厂牌：EVERAIR两个空氣儲槽厂牌：上海申江u空氣壓縮機离心空压机外型图：南海奇美专案介绍TM-ME/BS-制程系統25OF25DATE82108210.b部門文件資料夾設計規範2dcaa095a17ace71559d126541aa53c5.docREV.0离心空压机原理图：南海奇美专案介绍TM-ME/BS-制程系統25OF25DATE82108210.b部門文件資料夾設計規範2dcaa095a17ace71559d126541aa53c5.docREV.0螺杆空压机外型图：螺杆空压机原理图：南海奇美专案介

5、绍TM-ME/BS-制程系統25OF25DATE82108210.b部門文件資料夾設計規範2dcaa095a17ace71559d126541aa53c5.docREV.0u冷冻式干燥机冷冻式干燥机外型图：冷冻式干燥机原理图：南海奇美专案介绍TM-ME/BS-制程系統25OF25DATE82108210.b部門文件資料夾設計規範2dcaa095a17ace71559d126541aa53c5.docREV.0冷干机原理说明空气干燥原理说明1、潮湿高温的压缩空气流入热交换器与从蒸发器排出来的冷空气进行热交换，使进入蒸发器压缩空气的温度降低。2、降

6、温后的压缩空气流入蒸发器与制冷剂热交换，压缩空气中的热量被制冷剂带走，压缩空气温度急速下降，潮湿空气中的水份因为达到饱和温度迅速冷凝成水滴，经过气水分离器分离后，冷凝水从自动排水阀处排出。经干燥后的空气压力露点可达2℃。3、降温后的冷空气流经空气热交换与入口的高温空气热交换，经热交换的冷空气因吸收了入口空气的热量提升了温度。同时空气还经过冷冻系统的二次冷凝与高温的冷媒再次热交换使出口的温度得到充分的加热，确保出口空气管路不结露。由于充分利用了出口空气的冷源，降低了机台冷冻系统的负荷确保了机台出口空气的质量。冷媒循环原理说明1.开机后冷媒经压缩机压缩由原状态变为

7、高温高压的蒸气。2.高温高压的蒸气流入冷凝器及二次冷凝，其热量通过热交换被冷却介质带走后温度下降，高温高压的蒸气因为冷凝变成了常温高压的液体。3.常温高压的液体冷媒流过膨胀阀，因为膨胀阀的节流作用压力降低，使得冷媒变成常温低压的液体。4.常温低压的液体进入蒸发器后，因为压力的降低液态冷媒沸腾蒸发变成低压低温的气体，冷媒蒸发时吸收了大量压缩空气的热量，使得压缩空气的温度下降达到干燥的目的。5.蒸发后的冷媒变为低温低压的蒸气，从压缩机的吸气口流回，被压缩机压缩后进入下一循环。南海奇美专案介绍TM-ME/BS-制程系統25OF25DATE82108210.b部門

8、文件資料夾設計規範2dcaa095