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时间:2019-09-17
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1、PCW(PocessCoolingWaterSys.)制程冷却水系统一.系统用途:供应制程设备所需的冷却水,行能量交换,带走设备机台所产生的热量。另一用途为CDA系统采用水冷空压机时,当作冷却水源。二.主要设备:缓冲槽、制程冷却水泵、热交换器、过滤器。控制方式:泵浦1、变频2、一般最好用变频泵浦,因为其节能效果好;延长设备的使用寿命;保证生产工艺稳定,提高产品的质量;提高电机水泵运行可靠性。三.设计准则:1、缓冲槽其最小容积为停机时,管线上的制程冷却水回流至缓冲槽的水量。2、泵浦依业主提供之量使用点压力,选用合适的流量和扬程
2、。管线筛选:1)流速泵出口:6~10ft/sec泵入口:4~7ft/secHeader:4~8ft/sec立管:4~10ft/sec一般:5~10ft/sec2)管摩擦损失每米0.04~0.05米四.设计步骤和注意事项1.缓冲槽设置地点制程机台有背压要求时,设于比机台低或者同层。制程机台无背压要求时,则设置地点无限制。(背压的计算为从制程机台出口至缓冲槽间的摩擦损失及高程差)。水源水质要求根据业主要求而定,原则上以DI或RD水当水源,另以自来水为紧急供水。材质不锈钢或FRP制,且槽外需保冷。2.泵浦制程机台对PCW需求有一定
3、的压力,所以PCW泵浦扬程通常都很大,选用多段直立离心式泵比较常用。泵浦接液部分以不绣钢材质较常用。3.热交换器一次侧(冰水侧)的进口温度,以冰水主机选用的进出口温度为准。二次侧(PCW侧)的进出口温度,以业主提供的制程机台PCW进出口温度为准。(若业主无法提供,则以20℃进热交换器,15℃出热交换器为设计依据)4.过滤器过滤精度视业主需求而定材质为不锈钢型式为袋滤机,非Y-strainer附差压计5.管线筛选依流量、流速、管摩擦损失可筛选合适的管径。管材通常使用不锈钢(SUS304),PVCSCH.80及镀锌碳钢管也有人用
4、。二.1.以下是H1-1F机房布置平面图和剖面图H1-F1机房布置图H1-F1机房布置剖面图离心水泵的选取:CentrifugalWaterPump(离心水泵)假设参数:Q=1700LPM,H=40M根据离心泵H-Q性能曲线,选取水泵型号NK80-400电机功率18.5Kw型号MMG180M-E
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