光学镜头可见光波段增透膜的研究与制备

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1、长春理工大学本科毕业设计编号本科生毕业设计光学镜头可见光波段增透膜的研究与制备ResearchandPreparationoftheOpticsARCoatingintheVisibleSpectrum学生姓名王超专业光电信息工程学号100212629指导教师付秀华学院光电工程学院二〇一四年六月长春理工大学本科毕业设计长春理工大学本科毕业设计毕业设计原创承诺书1．本人承诺：所呈交的毕业设计《光学镜头可见光波段增透膜的研究与制备》，是认真学习理解学校的《长春理工大学本科毕业设计工作条例》后，在教师的指导下，保质保量独立地完成了任务书中规定的内容，不弄虚作假，不抄袭别人的工作内

2、容。2．本人在毕业设计中引用他人的观点和研究成果，均在文中加以注释或以参考文献形式列出，对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体均已在文中注明。3．在毕业设计中对侵犯任何方面知识产权的行为，由本人承担相应的法律责任。4．本人完全了解学校关于保存、使用毕业设计的规定，即：按照学校要求提交论文和相关材料的印刷本和电子版本；同意学校保留毕业设计的复印件和电子版本，允许被查阅和借阅；学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存毕业设计，可以公布其中的全部或部分内容。以上承诺的法律结果将完全由本人承担！作者签名：年月日长春理工大学本科毕业设计长春理工大学本科毕业设计摘要为了满足光学镜头中

3、的光学元件的使用要求，即在可见光波段范围具有高透过率，根据光学设计原理配合膜系软件设计膜系，采用离子辅助沉积，电子束真空镀膜的方法，通过对真空度、基底温度、膜料蒸发速率等工艺参数的调整和膜层厚度的监控方法的改进，采用,两种镀膜材料，在基底上制备了400-750nm宽带增透膜。并测量了薄膜的透过率，得到透过率光谱曲线。所镀膜层在垂直入射时，400-750nm波段平均反射率小于1%。最后对制备的增透膜进行了各种环境测试，环境测试结果显示，膜层的各项指标都达到了设计要求。关键词:光学薄膜光学镜头宽带增透膜离子辅助沉积I长春理工大学本科毕业设计AbstractInordertome

4、ettheopticalinstruments'operatingrequirementsofOpticallens,namely,itmustbehightransmittanceduringvisible,weadoptelectronicbeamingvacuumdepositingmethodwiththeaidofionassistantdepositionsystems.ThestructureisdesignedbyTFCsoftwarewithefficiencyinterfacetheory.Throughoptimizingtechnicalparame

5、terssuchasdegreeofvacuum,basereservoirtemperature,evaporationrateofandimprovingthemonitormethod,wedepositthefilmonthesubstratewithfourmaterialsof,.Andmeasuredthetransmittanceofthecoatingwiththespectralphotometer,gotthespectrumcurvesofthecoating.Inconditionofverticalincidence,theaveragerefl

6、ectivitybelow1%through400nm-750nmwavelength.Inaddition,thecoatinghavesuccessfullypassedenvironmentaltests,itcancompletelymeetthedemandsofatmosphericradiationsystems.Keywords:opticalthinfilm;Opticallens;broadbandARcoating;ionassistantdeposition(IAD);I长春理工大学本科毕业设计目录摘要IAbstractII第1章绪论11.1薄膜的发

7、展11.2宽带增透膜的发展及应用11.3论文研究的内容2第2章增透膜设计理论32.1宽带增透膜的使用要求32.2薄膜材料的选择32.3增透膜设计理论基础42.3.1增透膜原理42.3.2单层宽带减反膜52.3.3双层减反射膜的原理及计算52.3.4多层膜膜系的优化方法52.4课题设计方案6第3章软件设计流程与结果73.1膜系设计技术指标73.2设定环境参数73.3设置初始膜系结构73.4设置优化目标83.4.1设定优化参量83.4.2优化设计与结果8第4章制备工艺134.1薄膜的制备装置134.1.1真空系统144