红外三波段薄膜的研究与制备.pdf

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1、分类号：—卫蝗』旦一UDC：密级：——编号：红外三波段薄膜的研究与制备RESEARCHANDFABRICATl0NOFINFRAREDTHREEBANDSFILJERFILM学位授予单位及代码：盘查垄王盔芏(!Q!堑2学科争业名枸：驶代妈：盘芏』摧!Q8监2研究方向：班岱迸芏基盛皇兰捏应旦申请学位绂别：亟±指导教师：盟墨堡熬握研究生：刊!盍论文起止时侧：垫塑』l二兰型业长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所肇交的硕士学位论文．《用于檄光接收的无衍射光束研究》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中

2、已经注明引用的内容外。本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过韵作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体．均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”-同意长春理工大学保留井向中国科学信息研究所、中国优秀博碗士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构进交学位论文的复@4’t-和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工人学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有

3、关数据库进行检索t也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：_二兰∑盏2Q!!年土月三王_日导师签名：!盘i!唆2Q!!年—卫月上王_日＼摘要随着红外光通信技术的发展。光学薄膜在提升光学器件性能方面扮演着越来越重的作用。本文主要研制以蓝宝石为基底，实现在I064“m和3～5“m透射、1．2~28哪反射的红外滤光膜。同时对薄膜材料的光学性能进行研究和分析，根据薄膜设计理论，借助TFC膜系软件进行膜系设计。通过对初始膜系膜层厚度的优化。获得了较为理想的膜系结构设计方案。本课题采用电子束真空蒸发和离子辅助沉积技术制

4、各薄膜。对在镀膜过程中影响膜层性能的工艺因素进行了分析、研究。通过反复试验，优化工艺参数．在蓝宝石基底上成功镀制了符合红外光学探测器使用要求的多波段滤光膜，并且能够承受激光光源的照射和恶劣环境的测试。关键词：光学薄膜多波段滤光膜红外增透腠离于辅助沉积ABSTRACTAlongwiththedevelopmentofinfraredcommunicationtechnology,opticalthinfilmin&st；elisionopticaldeviceperformanceplaysanincreasinglyheavyro

5、leInthispaper,weresearchinbasalsapphiresubstrateforl_064Vmand3～5umtransmission．12—281unreflectioninfraredflitchWeresearchandanalyzetheopticalpropertiesofthinfilmmaterialsAccordingtofilmdesigntheory．usingtheTFCcoatingsystemsoftwaredesigntheinitialfilmlayertlfichnessiso

6、ptimizedtothebesteffectThethinfilmsweremadebyaleetronbeamvacuumevaporationandionicauxiliarydepositiontechniquesAffectmembranelayerpropertiesoftechnologicalfactorsareanalyzedandstudiedinthecoatingprocessWesucceededinmakingthemulti—wavebandsfilterfilmhlmealisofcontinuou

7、sexperimentandoptimizationoftechnicmparameters，anditcanwithstand18setiIluminantirradiationandharshenv打onmentaltest聃words：opticalthin舳multi-wave眦腑劬证丘amd蛐血娟ed面啦A内hn$血岫tdeMi60n(IAD)摘要ABSTRACT目录第一章绪论．．．．．．．．．．．．．1l光学薄膜的发展与应用I2光学薄膜制各技术l3研究背景简介．，．．14本文主要工作第二章薄膜的基本理论．．．．⋯．．2

8、．1薄膜的干涉原理．2．2薄膜反射率的计算．23增透膜．．．．．．2．4对称膜系的等效折射率．．．25高反射膜．26展宽高反射带的多层介质膜第三章红外三波段滤光膜膜系设计3l基底材料的选择．．．．32薄膜材料的选择．．33膜系设计．．．．．第四章红