氧化铟锡透明电极光学特性研究

氧化铟锡透明电极光学特性研究

ID:38959579

大小:1.81 MB

页数:34页

时间:2019-06-22

氧化铟锡透明电极光学特性研究_第1页
氧化铟锡透明电极光学特性研究_第2页
氧化铟锡透明电极光学特性研究_第3页
氧化铟锡透明电极光学特性研究_第4页
氧化铟锡透明电极光学特性研究_第5页
资源描述:

《氧化铟锡透明电极光学特性研究》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库

1、学号2011301760050密级武汉大学本科毕业论文氧化铟锡透明电极光学特性研究院(系)名称:印刷与包装系专业名称:印刷工程学生姓名:郑晨指导教师:周奕华副教授二○一五年五月郑重声明本人呈交的学位论文,是在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果,所有数据、图片资料真实可靠。尽我所知,除文中已经注明引用的内容外,本学位论文的研究成果不包含他人享有著作权的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体,均已在文中以明确的方式标明。本学位论文的知识产权归属于培养单位。本人签名:日期:摘要ITO透明导电薄膜材料具

2、有优良的光电特性,因此近年来得以迅速发展,特别是在薄膜晶体管TFT制造、平板液晶显示LCD、太阳能电池透明电极等方面获得广泛应用并形成一定的市场规模。此次毕业设计针对ITO薄膜的光电性质进行探究。本文对于ITO透明导电薄膜的制备刻蚀和光电性能进行了研究。分析了ITO在导电薄膜中所处于的地位并展望了其未来的发展方向;针对ITO薄膜的透明导电原理进行分析阐述;通过光刻方法制备了不同图案的ITO透明电极,并通过实验测试了ITO电极的电阻率和光谱透射率;以及测定ITO电阻率和光谱透射率对其性能进行探究分析。关键词:ITO;透明

3、导电薄膜;光电特性;光刻刻蚀;光谱透射曲线ABSTRACTITOtransparentconductivethinfilmshaveanexcellentopticalandelectricalproperties.That’swhyitdevelopedrapidlyinrecentyears,particularlywaswidelyusedinthefieldofmanufactureofthethinfilmtransistorTFTfabrication,flatpanelliquidcrystaldispl

4、ayLCD,solarcelltransparentelectrode,etc.Andithasacertainsizeofmarket.ThegraduationprojectisgoingtodoarearchontheexplorationfortheoptoelectronicpropertiesofITOfilms.Thisarticleisonthestudyofetchingandelectro-opticalpropertiesofITOtransparentconductivefilm.Thestud

5、yincludesanalysisofthestatusandthefutureoftheITOconductivefilm,theprincipleofITOtransparentconductivefilm,thestudyonthepreparationofITOtransparentconductivefilm,theexperimentsonetchingpatternontheITOandthemeasurementofresistivityandspectraltransmittanceofITOtran

6、sparentconductivefilm.Keywords:ITO;transparentconductivefilm;opticalandelectricalproperties;lithographicetching;spectraltransmissioncurve目录1绪论........................................................................................................................

7、..11.1研究背景..................................................................................................................11.2国内外研究现状....................................................................................................21.3研究内容、思路及技术支持...........

8、......................................................................32ITO透明导电薄膜的原理................................................................................42

当前文档最多预览五页,下载文档查看全文

此文档下载收益归作者所有

当前文档最多预览五页,下载文档查看全文
温馨提示:
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件,查看预览时可能会显示错乱或异常,文件下载后无此问题,请放心下载。
2. 本文档由用户上传,版权归属用户,天天文库负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容,确认文档内容符合您的需求后进行下载,若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误,付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。