氧化铟锡透明电极光学特性研究

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1、学号2011301760050密级武汉大学本科毕业论文氧化铟锡透明电极光学特性研究院（系）名称：印刷与包装系专业名称：印刷工程学生姓名：郑晨指导教师：周奕华副教授二○一五年五月郑重声明本人呈交的学位论文，是在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果，所有数据、图片资料真实可靠。尽我所知，除文中已经注明引用的内容外，本学位论文的研究成果不包含他人享有著作权的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体，均已在文中以明确的方式标明。本学位论文的知识产权归属于培养单位。本人签名：日期：摘要ITO透明导电薄膜材料具

2、有优良的光电特性，因此近年来得以迅速发展，特别是在薄膜晶体管TFT制造、平板液晶显示LCD、太阳能电池透明电极等方面获得广泛应用并形成一定的市场规模。此次毕业设计针对ITO薄膜的光电性质进行探究。本文对于ITO透明导电薄膜的制备刻蚀和光电性能进行了研究。分析了ITO在导电薄膜中所处于的地位并展望了其未来的发展方向；针对ITO薄膜的透明导电原理进行分析阐述；通过光刻方法制备了不同图案的ITO透明电极，并通过实验测试了ITO电极的电阻率和光谱透射率；以及测定ITO电阻率和光谱透射率对其性能进行探究分析。关键词：ITO；透明

3、导电薄膜；光电特性；光刻刻蚀；光谱透射曲线ABSTRACTITOtransparentconductivethinfilmshaveanexcellentopticalandelectricalproperties.That’swhyitdevelopedrapidlyinrecentyears,particularlywaswidelyusedinthefieldofmanufactureofthethinfilmtransistorTFTfabrication,flatpanelliquidcrystaldispl

4、ayLCD,solarcelltransparentelectrode,etc.Andithasacertainsizeofmarket.ThegraduationprojectisgoingtodoarearchontheexplorationfortheoptoelectronicpropertiesofITOfilms.Thisarticleisonthestudyofetchingandelectro-opticalpropertiesofITOtransparentconductivefilm.Thestud

5、yincludesanalysisofthestatusandthefutureoftheITOconductivefilm,theprincipleofITOtransparentconductivefilm,thestudyonthepreparationofITOtransparentconductivefilm,theexperimentsonetchingpatternontheITOandthemeasurementofresistivityandspectraltransmittanceofITOtran

6、sparentconductivefilm.Keywords:ITO;transparentconductivefilm;opticalandelectricalproperties;lithographicetching;spectraltransmissioncurve目录1绪论........................................................................................................................

7、..11.1研究背景..................................................................................................................11.2国内外研究现状....................................................................................................21.3研究内容、思路及技术支持...........

8、......................................................................32ITO透明导电薄膜的原理................................................................................42