gbt11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件

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1、前言本标准是对真空镀膜设备通用技术条件进行修订而编制的在内容上对某些技术指标进行了修改如类镀膜设备抽气时间从原来的改为增加了升压率指标并且由于原标准中类镀膜设备国内已无生产厂生产在本次标准修订中将类产品取消本标准自实施之日起代替本标准由国家机械工业局提出本标准由全国真空技术标准化技术委员会归口本标准起草单位上海曙光机械制造厂沈阳真空技术研究所本标准主要起草人张树中李春影李玉英中华人民共和国国家标准真空镀膜设备通用技术条件代替范围本标准规定了真空镀膜设备技术要求试验方法检验规则标志包装运输和贮存等本标准适用于压力在范围的蒸发类溅

2、射类离子镀类真空镀膜设备以下简称设备引用标准下列标准所包含的条文通过在本标准中引用而构成为本标准的条文本标准出版时所示版本均为有效所有标准都会被修订使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性包装储运图示标志真空法兰机电产品包装通用技术条件真空设备型号编制方法定义本标准采用下列定义极限压力真空系统正常工作时空载干燥的镀膜室逐渐稳定的最低压力单位抽气时间真空系统正常工作时将空载干燥的镀膜室从大气压抽到规定的压力所需要的时间单位升压率将空载干燥的镀膜室连续抽气至稳定的最低压力后截止抽气在镀膜室内由于漏气或内部放气所造成的单位

3、时间的升压单位技术要求设备正常工作条件环境温度相对湿度不大于冷却水进水温度不高于冷却水质城市自来水或质量相当的水供电电源三相或单相由所用电器需要而定电压波动范围或频率波动范围国家质量技术监督局批准实施标准分享网www.bzfxw.com免费下载设备所需的压缩空气液氮冷热水等压力温度消耗量均应在产品使用说明书中写明设备周围环境整洁空气清洁不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在设备技术参数设备的主要技术参数应符合表的规定设备的型号应符合的规定表项次参数名称参数数值镀膜室尺寸分档分档真空极限压力指标抽气

4、时间升压率沉积源沉积源型式尺寸数量及最大耗指标电功率工件架工件架尺寸及转动方式指标工件烘烤方式及烘烤温度离子轰击工件偏压功率根据设计要求膜厚监控方式及控制精度设备控制方式www.bzfxw.com设备最大耗电量注所列镀膜室的几何尺寸对圆柱式室体为圆柱内径对箱式室体为箱体内宽度带号尺寸优先选用其他尺寸和其他结构形式的设备可由制造厂参照上述尺寸决定专用设备由用户与制造厂另订协议本尺寸分档作为推荐值不作考核结构要求设备中的真空管道静动密封零部件的结构型式和尺寸应符合的规定在真空管道及镀膜室上应安装真空测试规管分别测量各部位的压力如果

5、设备的主泵为扩散泵时应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集阱设备的镀膜室应有观察窗对在镀膜过程中发生射线的设备观察窗上应加装防射线镜片制造质量设备主要零部件制造所用的原材料应符合相应的材料标准的规定且应具有质量合格证书如证书不全或产生疑问时应由制造厂检验部门负责复验设备的零部件的机械加工质量及设备的焊接质量均应符合制造厂技术文件的规定设备的装配质量应符合制造厂技术文件的规定装配时对工作中处于真空的各零部件表面应进行有效的真空清洗处理并予以干燥各运动件装配后应运动灵活平稳设备中镀膜沉积源离子轰击工件偏压工件加热膜厚监控等装置均应逐项调

6、试和联合调试性能均应达到设计要求运行可靠工件加热过程中设备应能正常运转设备所配用的自制或外购的泵阀表计等各类机械电器元器件都应符合相应产品标准的规定并应具有质量合格证书或经制造厂检验部门检验合格后方可使用设备配套的电器装置的制造质量应符合制造厂技术文件的规定并应保证设备运行和操作时的安全可靠装置中线路的排布应整齐清晰便于检修装置中各电气回路的绝缘电阻值对于以下不得低于对于不得低于对于不得低于对于不得低于设备的外观质量应做到没有非功能性需要的尖角棱角凸起及粗糙不平表面零部件结合面边沿应整齐匀称不应有明显错位金属零件的镀层应牢固无

7、变质脱落及生锈等现象所有紧固件应有防腐层设备的涂漆表面应光洁美观牢固无剥落起皮现象安全防护关键部件的水冷系统中应有断水或水压不足的报警装置并与电源真空系统传动系统相关联部分有联锁保护机构这些保护机构的动作应灵敏可靠真空系统中采用电动或气动阀门时均应有连锁保护设备及其附属的电气装置均应装设接地装置接地处应有明显标记设备与相附属的电气装置之间的连接导线应有防止磨损或碰伤的保护措施设备的电气线路及电气元件应保证不受冷却液润滑油及其他有害物质的影响操作中突然停电后再恢复供电时应能防止电器自行接通在设备电气线路中针对负载情况应采取短路保

8、护过电流保护等必要保护措施应用高www.bzfxw.com压电源的设备其装有高压电极的镀膜室的开启与高压线路的接通应有安全联锁装置设备中的高压高频以及其他有可能产生损害人体的辐射部分应安装屏蔽装置外露的齿轮皮带轮等应有可靠的防护装置液压或气压系统应有压力指示仪表及调节压力的安