gbt11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件

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1、ICS23．160J78固雪中华人民共和国国家标准GB／T11164—2011代替GB／T111641999真空镀膜设备通用技术条件2011-11-21发布Vacuumcoatingplantgenericspecification2012-06-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局学者中国国家标准化管理委员会及113GB／T11164—2011前言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯-1范围⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2规范性引用文件⋯⋯3术语和定义⋯⋯⋯⋯4技术要求⋯⋯⋯⋯⋯5试验方法⋯⋯⋯⋯⋯6检验规则⋯⋯⋯⋯⋯7标志、包

2、装、运输、贮存目次．i24

3、500、2600、3200十档尺寸，并对带“*”号尺寸优先选用进行了调整；——修改了GB／T11164--1999表1中镀膜设备的分档，增加了C档镀膜设备，并增加或修改了各档镀膜设备的极限压力、抽气时间及升压率指标；——因GB／T11164—1999中部分规范性引用文件已修订，故本标准引用现行标准；——修改了GB／T111641999的4．4．6，用表格的方式规定了设备配套的电器装置中各电气回路的绝缘电阻值；——修改了GB／T111641999的4．5．4及4．5．12，增加了安全防护内容。本标准由中国机

4、械工业联合会提出。本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC／TC18)归口。本标准负责起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司。本标准参加起草单位：上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器有限公司、中国航天科技集团第五研究院第510研究所、上海惠丰石油化工有限公司、沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人：陈月增、谢钧荣、范立群、孙凯、温发兰、靳毅、刘强、惠进德、王学智。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：——GB／T11164一1989、GB／T111641999。1范围真

5、空镀膜设备通用技术条件GB／T11164～2011本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在10—Pa～10—3Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB／T191—2008包装储运图示标志GB／T3163—2007真空技术术语GB5226．1

6、2008机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件GB／T60702007真空技术法兰尺寸GB／T13308--2011标牌GB／T133842008机电产品包装通用技术条件GB／T15945--2008电能质量电力系统频率偏差GB18209．1—2010机械电气安全指示、标志和操作第1部分：关于视觉、听觉和触觉信号的要求JB／T7673真空设备型号编制方法3术语和定义GB／T3163--2007界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3．1极限压力ultimatepressure泵在工作时，空载干燥的

7、真空容器逐渐接近、达到并维持稳定的最低压力。注：单位为帕(Pa)。3．2恢复真空抽气时间pump-downtime真空系统正常工作时，将空载干燥的镀膜室从大气压(105Pa)抽到规定的工作压力所需要的时间。注：单位为分钟(rain)。3．3升压率rateofpreasurerise将空载干燥的镀膜室连续抽气至稳定的最低压力后，停止抽气，在镀膜室内由于漏气或内部放气所造成的单位时间的升压。注：单位为帕每小时(Pa／h)。1GB／T11164—20114技术要求4．1设备正常工作条件4．1．1环境温度：10℃

8、～35℃。4．1．2相对湿度：不大于75％。4．1．3冷却水进水温度：不高于25℃。4．1．4冷却水质：城市自来水或质量相当的水。4．1．5供电电源：380V、三相、50Hz或220V、单相、50Hz(由所用电器需要而定)；电压波动范围342V～399V或198V～231V；根据GB／T15945--2008中的规定，频率偏差限值为±0．5Hz，其频率波动范围49．5Hz--50．5Hz。4．1．6设备所需的压缩空气、液氮、冷