基于柔性基板的微应变片阵列的研究

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1、华中科技大学硕士学位论文目录摘要........................................................................................................................IAbstract................................................................................................................II1绪论1.

2、1研究背景及课题来源...................................................................................(1)1.2半导体应变片的国内外发展概况...............................................................(4)1.3应用概况..............................................................................

3、.........................(6)1.4研究内容.......................................................................................................(6)2半导体应变片的基础理论2.1半导体应变片的构成...................................................................................(8)2.2半导体应变片的工作原

4、理...........................................................................(8)2.3半导体应变片的测量方法.........................................................................(10)2.4本章小结.......................................................................................

5、..............(12)3聚酰亚胺Maxwell模型参数的确定3.1应变片材料的选择.....................................................................................(13)3.2Maxwell模型参数的计算方法..................................................................(14)3.3应力松弛实验.............................

6、................................................................(18)3.4实验数据后处理.........................................................................................(20)3.5本章小结......................................................................................

7、...............(25)III华中科技大学硕士学位论文4微应变片阵列的结构设计4.1应变片组合形式的选择.............................................................................(26)4.2应变片尺寸参数的确定.............................................................................(29)4.3微应变片阵列布局的确定................

8、.........................................................(40)4.4本章小结....................................................................................