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1、浙江昱辉阳光能源有限公司文件编号:Q03-SIP-13多晶循环料分级标准版本号:A/8页码:第1页共3页生效日期:2009年11月25日一、目的规范多晶铸锭产生循环料的判别,加强多晶硅材料的质量管控,特制定本规范。二、适用范围本标准适用于多晶过程检验对产生多晶循环料的分级;多晶铸锭技术管理;硅料分选;多晶炉配料;库房物料编码分类。三、主要内容1、种类:⑴、M1-M4级多晶循环料:可以直接用来铸锭的循环料;⑵、F1级多晶循环料:用于提纯的循环料⑶、F2-F4级多晶循环料:封存入库的循环料2、检验方法⑴、外观:目测⑵、尺寸:游标卡尺⑶、检验项目与检测设备:①、杂
2、质:SIS300-3D红外测试仪;②、导电类型:STZ-8极性仪;③、电阻率:BD-86A四探针测试仪;④、少子寿命:WT-2000少子寿命测试仪;⑤、碳、氧含量:NicoleEco/RS傅立叶变换红外光谱仪;批准审核编制修改履历页码内容状态备注第2页更改F1级料判定标准受控第2页新增M5级循环料受控浙江昱辉阳光能源有限公司文件编号:Q03-SIP-13多晶循环料分级标准版本号:A/8页码:第2页共3页生效日期:2009年11月25日顶皮中料底料顶料硅 块1、硅料名词解释硅锭:多晶铸锭车间生产的半成品边体:硅锭剖方切下的周边料再去除顶皮的剩余部分。硅块:硅锭
3、经过剖方去除边体后的半成品顶皮:a、硅块:顶部去除2mmb、边体:顶部去除10mm(如有孔洞则从孔洞底部切除,如有N型则从转型处切除)顶料:硅块顶部去除顶皮部分中料:硅块去除顶皮、顶料、底料的中间部分底料:硅块的底部切除部分。碎料:因粘埚造成的硅碇缺落的碎料。2、判别分级内容描述物料标识铸锭配比M1级料极性:P型、无反翘、电阻率ρ≥1Ω·cm、少子寿命τ≥2.5μs的中料。M1中料≤55%M2级料1、极性:P型、无反翘、电阻率ρ≥0.5Ω·cm,少子寿命τ<2.5μs的中料、底料。2、极性:P型、电阻率ρ≥0.5Ω·cm的碎料M2中料;M2底料;M2碎料≤1
4、2%M3级料极性:P型、无反翘、电阻率ρ≥0.5Ω·cm、硅块少子寿命τ≥2μs的边体料。M3边体料≤10%M4级料F1级料一次提纯后合格部分(详见文件:Q03-SIP-38)M4中料≤15kgM5级料极性:P型、无反翘、电阻率ρ≥0.5Ω·cm,少子寿命τ<2.5μs的顶料。M5顶料≤8%F1级料1、无N型顶皮料。2、无N型、电阻率0.5Ω·cm≤ρ<0.8Ω·cm的中料、底料、边体、碎料。3、转型硅锭去除转型且无反翘的部分。F1中料;F1底料;F1边体料;F1碎料提纯详见文件:Q03-SIP-38F2级料N型的顶皮、顶料、中料、底料、边体、碎料。F2封存
5、入库F3级料1、ρ<0.5Ω·cm的顶料、中料、底料、边体、碎料。2、反翘的顶料、中料、底料、边体、碎料。3、无N型、硅块少子寿命τ<2μs的边体。F3封存入库F4级料因漏硅、加热器断裂等事故造成的粘有石墨、碳纤维、加热器等无法处理的硅料。F4封存入库浙江昱辉阳光能源有限公司文件编号:Q03-SIP-13多晶循环料分级标准版本号:A/8页码:第3页共3页生效日期:2009年11月10日5、碎料处理办法1、这种碎料可以由切断入二级料仓库,名称为:二级多晶碎料,存货属性:空;2、二级多晶碎料处理流程:分选、打磨、腐蚀。3、二级多晶碎料处理流程中判定标准《多晶循环
6、料分级标准》,例如:分选过程发现N型,判为F2,出现电阻率小于0.5Ω·cm判定为F3;极性P型,电阻率大于1Ω·cm,判定名称为:碎料,存货属性:M2级;极性p型,电阻率0.5-0.8Ω·cm之间,判定为碎料,F1级。备注:1、判别优先级为:F2-F4级>F1级>M1-M2级2、如出现漏硅等异常情况,根据实际情况现场判定3、配料时,M级循环料总量不超过55%。M级料中,要根据各级料的产率进行配料投炉,使多晶料能够自循环,但不能超过规定的上限值4、硅块底部受坩埚影响不合格部分,符合M1中料,但长度小于20mm,降级判定作为底料5、判定后的循环料按物料标识分别
7、称重入库、放置.
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