多晶硅生产副产物循环利用规范书

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1、附件一电子信息产业发展基金招标项目多晶硅生产副产物循环利用技术研发及产业化规范书中华人民共和国工业和信息化部二○一○年三月16目录目录21．总则31.1一般要求31.2建议书要求42．项目的目标和主要内容52.1项目的目标52.2主要内容53．技术总体要求764．主要经济指标975．产业化要求1086．项目进度考核1197．资金要求12108．附录1311161．总则多晶硅是半导体电子信息产业和太阳能光伏产业的基础原材料，目前世界生产多晶硅的主流技术为改良西门子工艺，占总产能85%，硅烷法占15%，冶金法尚处于探索研究过程中。3年前，先进的多晶硅生产技术

2、由美、日、德三国掌控，对我国实施技术封锁和市场垄断，国内需求长期依赖进口，近几年，我国多晶硅产业发展迅猛，产业化主要以西门子工艺为主，但该工艺生产过程中，会产生大量的副产物（四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢）等，如不充分恰当回收利用，将难以实现大规模生产，安全、环保都有隐患，产品成本也难有竞争力。因此，多晶硅生产副产物综合利用技术研发及产业化具有广阔的应用前景。本项目是工业和信息化部为了推动多晶硅生产副产物循环利用技术研发及产业化而设立的项目，目的是通过支持从事多晶硅生产的企业，研究将副产物回收综合利用技术，提高副产物循环利用水平，从根本上解决环境污染问题，降

3、低多晶硅生产成本，促进我国多晶硅产业健康发展。本规范书由项目招标方（工业和信息化部）编写，用于提出项目的技术和进度等具体要求，供项目投标单位编写项目建议书及报价之用。项目投标方应在建议书中详细提出实现本规范书所描述各项技术要求的技术实现方案，并满足本规范书提出的各个要求。项目招标方保留对本规范的解释和修改的权利。161.1一般要求1.1.1本规范书用中文书写。项目投标方的建议书和相关资料应用中文书写，并按照下述要求提交：提交份数：12份（纸质)、1份（电子版）文件规格：A4、4号宋体，优质纸质封面、封底截止时间：以《工业和信息化部关于〈2010年度电子信息

4、产业发展基金招标项目〉的通告》的截止时间为准。接受单位：工业和信息化部电子信息司联系人：金磊；刘晓馨林涛联系电话：（010）68208268；（010）6820826287联系传真：（010）68271654地址：北京海淀区万寿路27号邮政编码：1008461.1.2对于本规范未能提出的性能指标，投标方应在建议书内加以补充和说明；1.1.3项目招标方有权在签定最终合同前，根据需要修改本规范书，修改后的最终稿将作为合同的附件。1.2建议书要求1.2.1本项用来定义项目建议书的内容和格式；1.2.2项目建议书内容：项目建议书由封面、目录、正文、附录16四个部分

5、组成；1.2.3建议书封面：封面由项目名称，项目负责人，财务负责人，单位负责人，联系电话和日期组成；1.2.4建议书目录：目录标明整个项目建议书各个组成部分的结构和位置；1.2.5建议书正文：正文陈述整个项目的详细设计内容。由项目概述、国内外相关技术与市场发展情况说明、投标单位概况和已有工作基础、技术总体方案、项目实施方案、预期达到的技术经济指标、投标方承担项目的可行性分析、进度安排与考核指标、经费预算和分配方案九个部分组成；1.2.6建议书附录：附录包括建议书在书写时所需的附加内容；1.2.7建议书各部分的格式和内容参见附件二的格式和要求。2．项目的目标

6、和主要内容2.1项目的目标通过本项目的实施，在较短的时间（一至两年）内重点扶持技术基础及产业化能力较强的企业，掌握推出回收利用率高、技术先进、实用性好、市场竞争力强、技术先进适于规模化生产、的具有自主知识产权的多晶硅生产副产物循环利用技术，并具备规模化生产能力。162.2主要内容l自主研制多晶硅副产物（四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢）综合回收、循环利用技术产品，核心技术必须具有自主知识产权。l在详细分析应用的基础上，保证本项目技术满足市场的主流需求，具有广泛的适用性、较强的市场竞争力。l提高实现多晶硅闭环生产水平和副产物循环利用水平规模化生产，符合节能环保要

7、求，占有一定的市场份额，取得较好的经济效益、环境效益和社会效益。163．技术总体要求多晶硅副产物（四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢）综合回收利用技术总体要求如下。所列项目为必须达到的要求，投标方根据各自条件可选择一项或多项，鼓励投标方根据各自的情况和特点加以扩充和提高。43.1要求多晶硅生产还原尾气采用干法回收。尾气中四氯化硅、氯化氢、二氯二氢硅回收率不低于98.5%、99%、98%。尾气单套系统处理能力≥7000Nm3/h。34.2四氯化硅综合利用（注：可选择一项或多项）。（1）低温加压氢化单台氢化炉的四氯化硅转化为三氯氢硅能力处理能力≥28000kg/h；

8、四氯化硅一次转化率≥255％，。电耗：≤1.55kwh/kg·Si