太阳能电池pecvd培训教材

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1、江苏林洋新能源PECVD培训教材目录定义PECVD原理PECVD设备简介PECVD日常维护PECVD安全定义PECVD定义PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition等离子增强的化学气相沉积定义PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。定义等离子体：气体在一定条件下受到高能激发，发生电离，部分外层电子脱离原子核，形成电子、正离子和中性粒子混合组成的一种形态，这种形态就称为等离子态。定义1981年，SiNx开始应用

2、于晶体硅太阳电池SiNA是德文Silizium（硅）-Nitrid（氮）-Anlage（处理系统）的缩写。它是专门利用PECVD过程来沉积氮化硅薄膜的系统。生产公司：Roth&RauAG等离子产生方式：微波（2.45GHz）PECVD原理PECVD技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其它CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气

3、相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性很高的各种化学基团，因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温实现。PECVD原理PECVD原理PECVD设备简介PECVD设备简介SiNA系统有三个腔体，分别是进料腔，反应腔（包括预热、沉积和冷却三部分）和出料腔。各腔体直接有闸门阀隔开。SiNAL系统主要有真空系统、等离子系统、传送系统、气动系统、加热系统、冷却系统、电路自动控制系统组成。整个系统由PC系统控制。真空系统真空系统包括：真空泵、角阀、

4、真空规、密封元件及其它辅助元件。等离子系统等离子系统包括：微波电磁头、微波电源、铜天线和铜波导管及其它辅助装置。传送系统传送系统包括：伺服马达、伺服驱动器、同步皮带同步带轮及辅助的传动元件。气动系统气动系统包括：气缸、电磁阀、、调压阀、储气罐、气管及其它辅助元件。加热系统加热系统包括：加热器（红外加热管、加热板）、温控器、热电偶。冷却系统冷却系统包括、冷却器、流量计、阀门、过滤器及其它辅助元件。电路自动控制系统电路自动控制系统包括：保护开关、接触器、继电器、变频器、PLC模块、PC电脑。PECVD日常维护每班上机前严格按照《PECVD日常点检

5、表》上的项目点检。每48小时更换一次石英管，更换石英时严格按照《PECVD更换石英管点检表》上的项目去做。PECVD安全使用和维护本设备时必须严格遵守操作规程安全规则：本设备的工艺气体为SiH4和NH3，二者均有毒，且SiH4易燃易爆；本设备运行时产生微波辐射，每次维护后和停机一段时间再开机前都要检测微波是否泄漏PECVD安全操作SiNA系统前，应熟识下列标识，以防止发生人身伤害或设备损坏：可能导致人身伤害或设备的损坏带电可能有微波辐射PECVD安全设备有移动的部分，可能会造成人身伤害这个标记在传送系统附近，警告操作人员注意防止夹手高温部分，

6、注意防止烫伤PECVD安全操作时戴防护手套操作时戴护目镜操作时戴防毒面具PECVD安全操作时穿防护服操作时穿防护靴