jjg901-1995 电子探针分析仪检定规程

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1、中华人民共和国国家计量检定规程JJG901-1995电子探针分析仪ElectronProbeMicroanalyzer1995一10一19发布1996一03一01实施国家技术监督局发布JJG901-1995电子探针分析仪检定规程己仑乙仓己全圣JJG901-1995VerificationRegulationofs今弓夕己'tElectronProbeMicroanalyzer本检定规程经国家技术监督局于1995年10月19日批准，并自1996年03月01日起施行。归口单位:上海市技术监督局起草单位:上海市测试技术研究所本规程技术条文由起草单位负责解释标准分享网www.

2、bzfxw.com免费下载JJG901-1995本规程主要起草人:张训彪(上海市测试技术研究所)JJG901-1995目录一概述·............................................................................................(1)二技术要求·......................................................................................(1)三检定条件...........................

3、............................................................(2)四检定项目和检定方法·.......................................................................(2)五检定结果的处理和检定周期·..............................................................(5)附录1电子探针分析仪检定记录············，······················，·····。。·，⋯

4、⋯(6)附录2检定证书背面格式·····················，····················，···················，⋯⋯(8)标准分享网www.bzfxw.com免费下载JJG901-1995电子探针分析仪检定规程本规程适用于新制造、使用中和修理后的电子探针分析仪(以下简称电子探针)的检定，也适用于配有波谱仪具有元素分析功能的扫描电子显微镜的检定。一概述电子探针主要用于测定固体样品中微小区域内原子序数从5号(硼)至92号(铀)元素的种类和含量，同时可以用于分析样品表面的形貌。其原理是:用细聚焦一定能量的电子束轰击样品，样品在电子

5、的作用下产生X射线、二次电子等信息。用波谱仪将X射线按波长进行分散，并测定特征X射线的强度。根据特征X射线的波长确定元素的种类;根据特征X射线的强度进行修正计算，确定元素的含量。用二次电子成像分析表面形貌。电子探针主要由电子光学系统、X射线色散系统、信号接收放大和显示系统、计算机系统、真空系统、供电系统等部分组成。二技术要求电子探针按其性能分为一级、二级、三级。外观标明仪器名称、型号、制造单位、出厂日期、出厂编号等;两板上的标记清晰;部件装配牢固;导线连接可靠;无影响计量性能的损伤;操作自如，运转正常。2放大倍数示值误差一级不超过士5%;二级不超过士10%;三级不超过

6、士20%.3二次电子像分辨力一级不大于10nm;二级不大于20nm;三级不大于50nmo4探针束流稳定度一级不大于3X10一3;二级不大于5X10一3;三级不大于10X10一35束斑位置稳定度一级不大于0.5tAm;二级不大于1tm;三级不大于2jAma6样品台重复性一级不超过1[Lm;二级不超过2[Lm;三级不超过5lzmo7X射线强度重复性一级不大于196;二级不大于2;三级不大于4%o8合金定量分析误差一级不超过士1.596;二级不超过士3;三级不超过士6%.1JJG901-19959矿物定量分析误差一级不超过士3%;二级不超过士5%;三级不超过士10%010机

7、壳绝缘电阻不小于20MSLnX射线泄漏剂量当量不大于2.5pSvo三检定条件Jl勺户勺︸-门jlll环境条件，lilll，且:环境温度:(20士5)`C。‘相对湿度:不超过70。电源电压一(220士22)Vo1414检定用标准物质.检定放大倍数用标准物质参见JJG550-1988扫描电子显微镜检定规程9.1款。14.2合金标准物质电子探针分析用主元素含量标准偏差不大于0.1%的标准物质。矿物标准物质电子探针分析用主元素含量标准偏差不大于0.2%的标准物质。14.4检定二次电子像分辨力用的标准物质。15主要配套设备15.1用于测定束电流的法拉第杯。15