jjg 901-1995 电子探针分析仪检定规程.pdf

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1、中华人民共和国国家计量检定规程JJG901-1995电子探针分析仪ElectronProbeMicroanalyzer1995一10一19发布1996一03一01实施国家技术监督局发布JJG901-1995电子探针分析仪检定规程己仑乙仓己全圣JJG901-1995VerificationRegulationofs今弓夕己'tElectronProbeMicroanalyzer本检定规程经国家技术监督局于1995年10月19日批准，并自1996年03月01日起施行。归口单位:上海市技术监督局起草单位:上海市测试技术研究所本

2、规程技术条文由起草单位负责解释标准分享网www.bzfxw.com免费下载JJG901-1995本规程主要起草人:张训彪(上海市测试技术研究所)JJG901-1995目录一概述·............................................................................................(1)二技术要求·.........................................................................

3、.............(1)三检定条件.......................................................................................(2)四检定项目和检定方法·.......................................................................(2)五检定结果的处理和检定周期·.....................................................

4、.........(5)附录1电子探针分析仪检定记录············，······················，·····。。·，⋯⋯(6)附录2检定证书背面格式·····················，····················，···················，⋯⋯(8)标准分享网www.bzfxw.com免费下载JJG901-1995电子探针分析仪检定规程本规程适用于新制造、使用中和修理后的电子探针分析仪(以下简称电子探针)的检定，也适用于配有波谱仪具有元素分析功能的扫描电子显微镜

5、的检定。一概述电子探针主要用于测定固体样品中微小区域内原子序数从5号(硼)至92号(铀)元素的种类和含量，同时可以用于分析样品表面的形貌。其原理是:用细聚焦一定能量的电子束轰击样品，样品在电子的作用下产生X射线、二次电子等信息。用波谱仪将X射线按波长进行分散，并测定特征X射线的强度。根据特征X射线的波长确定元素的种类;根据特征X射线的强度进行修正计算，确定元素的含量。用二次电子成像分析表面形貌。电子探针主要由电子光学系统、X射线色散系统、信号接收放大和显示系统、计算机系统、真空系统、供电系统等部分组成。二技术要求电子探针

6、按其性能分为一级、二级、三级。外观标明仪器名称、型号、制造单位、出厂日期、出厂编号等;两板上的标记清晰;部件装配牢固;导线连接可靠;无影响计量性能的损伤;操作自如，运转正常。2放大倍数示值误差一级不超过士5%;二级不超过士10%;三级不超过士20%.3二次电子像分辨力一级不大于10nm;二级不大于20nm;三级不大于50nmo4探针束流稳定度一级不大于3X10一3;二级不大于5X10一3;三级不大于10X10一35束斑位置稳定度一级不大于0.5tAm;二级不大于1tm;三级不大于2jAma6样品台重复性一级不超过1[Lm

7、;二级不超过2[Lm;三级不超过5lzmo7X射线强度重复性一级不大于196;二级不大于2;三级不大于4%o8合金定量分析误差一级不超过士1.596;二级不超过士3;三级不超过士6%.1JJG901-19959矿物定量分析误差一级不超过士3%;二级不超过士5%;三级不超过士10%010机壳绝缘电阻不小于20MSLnX射线泄漏剂量当量不大于2.5pSvo三检定条件Jl勺户勺︸-门jlll环境条件，lilll，且:环境温度:(20士5)`C。‘相对湿度:不超过70。电源电压一(220士22)Vo1414检定用标准物质.检定放

8、大倍数用标准物质参见JJG550-1988扫描电子显微镜检定规程9.1款。14.2合金标准物质电子探针分析用主元素含量标准偏差不大于0.1%的标准物质。矿物标准物质电子探针分析用主元素含量标准偏差不大于0.2%的标准物质。14.4检定二次电子像分辨力用的标准物质。15主要配套设备15.1用于测定束电流的法拉第杯。15