1.刻蚀间培训材料

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1、尚能电池制造部刻蚀间培训材料SOP标准作业（1）拿硅片承载盒打开传递窗，两只手同时拿住承载盒，轻轻的放在硅片台上。（2）打开硅片盒打开硅片盒时，顺着承载盒的边缘往后推。（3）拿到上料台在拿的过程要双手捧住（一只手拿住边框，一只手托紧盒子）。（4）上片在上片时一定要注意扩散面与未扩散面，放时要扩散面向上并且放时要与滚轴相平正，片与片之间的距离要大小一致（保持在5cm左右）放片时要轻，尽量地减低硅片与滚轴的高度距离，硅片不要放在上料台滚轴的边缘，要往里放。（5）装片装片时的动作要轻，装片时要注意承载盒的开口方向，不要将扩散面装反，并确认好数量。（

2、6）放入推车放入推车时只准一只手拿一个承载盒，放时要放稳一只推车只准放十二盒。（7）往PECVD送片。往PECVD送片时，推车要沿着指定的通道走，走时避免与人与物体相撞，双手扶住推车把，推入PECVD时要放入指定地点。（8）所有的作业，必须在戴汗布手套外再戴一层乳胶手套。尚能电池制造部刻蚀间培训材料设备的结构大致可分为：上料、刻蚀、漂洗碱区、漂洗区、HF区、漂洗区、吹干、下料台、传动系统、冷却系统、感应系统、各种进水、进酸、碱及排放阀、液面控制系统、低液位保护、循环系统、流量控制、电柜、电脑操作台、压力检测、过滤设备的结构：上料台：滚轴、传动

3、电机刻蚀区：滚轴、液体循环泵、温度测试、液面控制、补液系统、添加桶、储液箱漂洗区：滚轴、循环泵、风刀、喷淋管、过滤器碱区：碱添加桶、碱喷淋管、碱循环泵、碱风刀、进碱阀、排碱阀、过滤器碱漂洗区：循环泵、喷淋管、液位浮子流量计、过滤器、风刀HF区：HF添加桶、进HF阀、排HF阀、循环泵、过滤器、风刀漂洗区：循环泵、喷淋管、浮子流量计吹干：风刀下料台：传动电机传动系统：传动电机、吹干（风刀电机）冷却系统：冷却水、冷却机感应系统：液位感应、漏碱漏酸感应、上料感应、下料感应、自动添加感应、温度测试、抽风测酸、碱浓度气动阀：进水阀、排水阀、进液阀、排液阀

4、、排废水、排酸阀浮子流量计：控制进水流量电柜：电源控制、信号输出（PCA西门子）电脑操作台：手动、自动模式、服务系统、工艺文件、报警、操作界面、各种感应、阀门、气动阀、液位的显示图压力检测：压缩空气、氮气尚能电池制造部刻蚀间培训材料自动加液处化学品更换SOP标准作业（1）更换化学品时，必须佩戴防毒面具，防酸耐碱服、防酸手套、戴防酸手套时，手上必须再戴两层乳胶手套，脚上要穿防酸防碱的鞋。（2）在将化学桶放置在加液处时，必须先检查化学桶是否有渗漏的现象。（3）用叉车叉时车子一定要叉到位，至化学桶的边缘部位。（4）将化学桶放置加液处时，一定要放稳放

5、正。（5）拧接化学桶与加液的管道时，一定要确认是否已经拧紧，在确认拧紧以后再打开添加系统（6）更换化学桶以后，需关闭加液处的工艺门窗，防止里面的化学品对外挥发。（7）在工作过程必须每半小时至一小时对加液处进行巡检一次。（8）换化学桶时，必须是两人操作（9）定人换液化学品防护：更换化学品，必须佩戴好防护用品防酸服、防酸手套、防酸耐碱鞋和防毒面具。在生产中如需打开工艺盖板，擦拭机器也必须做好防护措施。尚能电池制造部刻蚀间培训材料操作界面:在操作界面中存在一个操作界面与化学品的界面；操作界面中，显示七个槽位的状况，每块模块都有；现在运行的模式，化学

6、品界面也有七个模块，每块模块中也有现在的工艺运行；需进行自动模式时，必须要满足每块模块中给出的信息条件；第一次配槽需使用手动模式添加化学品，进入工艺文件确认后才可以根据工艺条件添加，在配槽完成后，操作界面会检出可以自动模式的信息条件。ModeSew为设备维护服务模式，操作员工不允许使用ModeAuto是日常生产的自动模式ModeManual是在添加化学品（第一次配液）或需对设备存在的一些情况进行处理Service是信息信号传感器感应器阀门的使用Manual手动添加或排放补液等Diagnostics是日常的报警信息，包括哪个槽哪个零部件什么原因

7、Trend是刻蚀槽与碱槽的温度趋势图Replehish添加补液Recipe刻蚀槽及碱、HF、以及各槽及风刀的工艺参数尚能电池制造部刻蚀间培训材料设备的工艺流程：（上料台）上片（HF、H2SO4、HNO2）刻蚀风刀吹漂洗风刀吹碱区风刀吹碱漂洗HF去PSG风刀吹HF漂洗风刀吹下料电脑操作界面：Corrveyor马达传送Offsetadjustments补偿、调整校正Conveyorspeed传送速度Speedsetpoind速度设值TemperatureEtchbath刻蚀槽温度Pesetinput输入Pesetoutput输出Waferchan

8、geinput硅片的进口Waferchangeoutput硅片的出口Frontpane1etch刻蚀区第一块玻璃Frontpanerinse漂洗槽第一块玻璃Mode