曝光机能量均匀性

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1、曝光機能量均勻性調試及調整機台型號:UVE--M552設備供應商:志聖公司需求人力:2人正常耗用工時:1H機台外型圖1曝光機能量均勻性調試及調整方法1、準備工具②.十字螺丝刀一把①.平行光能量测试仪一块③.内六角扳手一套22、合上框架將臺面框架放下33、測試點點陣圖。。。如圖示測試臺面上9個點位,其中周邊點位距臺面框邊緣約5CM。。。間距壓克力框。。。44、粘貼探頭用紙膠帶將能量檢測探頭粘貼在曝光機框架右下角第1個點位55、開啟吸真空點按吸真空按鍵,待真空度達到設定值66、使框架前進點按框架前進按鍵,框架進入曝光室內自動曝光7

2、7、自動曝光機台自行曝光,查看人機介面上曝光能量值上升情況.並將能量測試儀開關打開88、記錄資料當曝光能量達到設定值後,記下能量表上顯示的數值99、再按下框架前進按鍵點按框架前進按鍵,讓框架退出1010、換點位測試將能量檢測探頭移到曝光臺面另一點位,再做測試1111、記錄資料依第1點測試方法,測試2--9點能量值1212、計算均勻度依記錄的九個點位元的測試能量值,計算能量均勻性.(最小值/最大值*100%)如果能量達不到80%,將依下面調試方法將進行調試1313、打開側門板能量均勻性的調試方法旋轉鎖扣,取下機台側門板1414、

3、拆燈室下蓋板(1)拆下燈室下蓋板螺絲1514、拆燈室下蓋板(2)取下內箱側門1615、燈管位置調整座燈管固定座1716、從觀察口查看燈源成像情況查看燈管反射光在聚光器上的成像狀況1817、遮光器上的成像燈管反射光在遮光器上的成像位置1918、X軸方向調整調整燈管固定座之X方向座標2019、Y軸方向調整調整燈管固定座之Y方向座標2120、Z軸方向調整調整燈管固定座之Z方向座標2221、再做能量均勻性測試調整燈源成像在遮光器的中心位置,並且為直徑約8CM的圓.然後再測試臺面上9個的點能量並計算其均勻性.當燈源位置調整後仍不能達到8

4、0%,則需調整反光鏡位置.2322、調整反光鏡松掉反光镜的固定螺丝,调整反光镜的高度2423、再做能量測試反復細心調整反光鏡的高度後,多次做測試,直至能量均勻性達到80%以上2524、生產驗收驗收標準：①.由生產做曝光尺確認,各點曝光尺在同一範圍內請當站組級②.試機運行24小時無曝光異以上主管常情況試機確認試機正常後簽注檢修單2625、結束曝光機能量測試調整完成清理作業場地整理測試資料,呈上級主管審核27