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1、第16卷第2期矿冶Vol.16,No.22007年6月MINING&METALLURGYJune2007文章编号:1005-7854(2007)02-0078-04有机废气净化工艺的选择及效果程秀绵(首钢日电电子有限公司,北京100041)摘要:本文通过对半导体工业的有机废气净化工艺及设备的分析,总结了各种净化工艺特点和应用的范围,在扩建工程中选择了合理的净化工艺及设备。经过一年的生产验证,有机废气达到国家大气污染物排放标准,与现有废气处理设备相比,节省了投资、降低了运行成本,
2、经济效果明显。关键词:有机废气;碳吸附;比表面中图分类号:X1311;X76文献标识码:ACHOICEANDEFFECTOFORGANICEXHASUT-GASPROCESSESCHENGXiu-mian(ShougangNECElectronicsCO,LTD,Beijing100041,China)ABSTRACT:Basedonanalysisfororganicexhasut-gasprocessesandequipment,sumsupcharacteristicsandApplicablescopesofprocessesa
3、ndequipment,selectssuitedprocessandequipmentforextensionprojectTheresultsofturnoutoneyearshowthatorganicexhasut-gasisachievedemissionstandardofairpollutantsofstateComparingwitholdtheequipment,saveoninvestment,reduceoperationcosts,obtainagoodeconomiceffectinthenewprocess。KE
4、YWORDS:organicexhasut-gas;carbonadsorption;specificsurface1引言刻等工艺环节产生大量的有机废气,主要污染物为异丙醇((CH3)2CHOH)、丁酮(C4H8O)、二氯苯随着半导体集成电路生产规模扩大和技术升(C6H4Cl2)、苯酚(C6H5OH)等,为了使污染物达到国级,其在各行业发挥着越来越重要的作用。近几年,家排放标准,一期工程引进了日本生产的两台有机半导体工业迅猛发展,合资、独资建成投产十几条生废气处理塔及配套的废液焚烧炉,使用过程中发现产线。由于在集成电路生产过程要求在高洁净
5、度厂设备运行成本高。在扩建工程中,经过对各种有机房进行,但生产工艺中需要使用有机和无机化学药废气处理方法及设备工作的原理分析,动力消耗、处品,所以,通风排气对于生产十分重要。我国半导体理成本比较,选择了北京中航银燕环保技术发展中工业起步较晚,所以相应的废气净化技术比较落后,心制造的固定床式活性炭有机废气处理塔,节省投一般在引进生产线的同时引进废气净化设施,投资及运行成本很高,如何消化吸收国外先进的废气净资160万元人民币,一年的使用和废气排放监测证化工艺,选择合适的工艺保证稳定生产和达标,对于明,设备运行稳定,处理效果达到国家排放标准,并新建和改
6、扩建废气处理系统非常重要。且节约了运行费用30万元,经济效益显著,同时为半导体生产可分为扩散工序和组装两大工序也今后扩建废气处理工程积累了宝贵经验。称前工序和后工序。在前工序的有机剥离、涂布、光2有机废气净化工艺及设备的比较收稿日期:2006-12-07作者简介:程秀绵,高级工程师,现在北京矿冶研究总院矿物工目前应用较广泛的有机废气净化工艺有活性炭程研究设计所工作。吸附法、热破坏法、生物膜法等。程秀绵:有机废气净化工艺的选择及效果∀79∀21吸附法燃烧室的蓄热层在废气燃烧时积蓄热量,而废气进吸附法是利用活性炭对有机成分的吸附作用,入另一个燃
7、烧室前经过蓄热层进行预热,预热温度使有害成分从气体中分离出来。在处理有机废气的为250,燃烧室燃烧温度为800~870,详见图方法中,吸附法应用极为广泛,与其他方法相比具有1。此系统热效率可达95%以上,废气处理效率可去除效率高、净化彻底、能耗低、工艺成熟等优点;缺达98%以上。该方法适用于有机废气浓度为12~33点主要是当废气中有胶粒物质或其它杂质时,吸附90mg/m,风量在4200~300000m/h的高浓度大剂容易失效。吸附法主要适用于低浓度的有机废气风量的工程。日本大气社和康肯株式会社有成熟的净化。决定吸附法处理效率的关键是吸附剂
8、。对吸设备和技术。附剂的要求一般是具有密集的细孔结构,内表面大,吸附性能好,化学性质稳定,耐酸碱、耐水、耐高温高压,对空气阻力小等特点,
