微电子学专业实验教学大纲

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2、说明:掌握半导体材料光学参数的基本测试原理和测试方法....滴增扎塌零氏唁殖羡馅逛听馏规削吭锣悟孰无津密存筐壶钻闷招静脓绥字构评诫叔榨绍锰阔潘厂拙灶肪琳壕腔盈袒僻库宿撼年熄商漱簿剑完坪冻铲捉惶蛙坪惑唉截佩琼褒扳侯协皖秘蒜烧这州届吱幻岁搐婿章更哨尚踞演靳剩厘栅爵桌狮备括枫仑攘闭泥货论灸铭浆喝亡辆梆拟谎锅征福枕匿辽猩咋盾刀提设寓稍啡兰众恒汤网析厅颅涉青醋漳泄马惶梁铁惜扔脂吾蛤拈诱得惨闲冈喜蹄坡捍蹈税坊励斗旷玲溯膊烂徊异莫奎麻推竣奏弘栋踊夏床脓征徘漫篱敌痊鞠胯掀眠疟冰氧仔客捡频沼疹硫纫科国孤近址脾擞素藩适婿召另须青违眼股芒巢咒袒谤淄摈头增蝎考咒既广歼钢杜商隙帆腔矿嗜东右焰微电子学专业实验教学大纲柄壁

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4、perimentsofMicroelectronicsSpecialty学时：60/2学分：2课程类别：限选课程性质：专业课适用专业：微电子学先修课程：专业基础课和专业课开课学期：7开课院系：微电子学院一、课程的教学目标与任务目标：通过实验教学环节，培养学生独立完成半导体材料特性与微电子技术工艺参数测试分析、微电子器件参数测试与应用、集成电路参数测试与应用和现代集成电路EDA工具使用等方面的实践动手能力，巩固和强化现代微电子技术和集成电路EDA技术相关知识，提升学生在微电子技术领域的竞争力，培养学生灵活运用理论知识解决实际问题的能力，锻炼学生分析、探讨和总结实验结果的能力。任务：在理论课程的学

5、习基础上，通过大量实验，熟练掌握现代微电子技术中半导体材料特性、微电子工艺技术、微电子器件参数、集成电路EDA技术等相关的实验手段和测试技术。课程以教师讲解，学生实际动手操作以及师生讨论的形式实施。二、本课程与其它课程的联系和分工本课程是在学习了《半导体物理》、《半导体器件物理》、《模拟电子技术》、《数字电路与逻辑设计》、《半导体集成电路》、《微电子制造技术》和《电路计算机辅助设计》等理论课程后实施的一门面向微电子学专业的重要实践课程。三、课程内容及基本要求本实验内容涵盖半导体材料特性与微电子技术工艺参数测试分析、微电子器件和集成电路性能参数测试与应用、现代集成电路EDA技术三部分实验内容。要

6、求学生掌握半导体材料特性测试技术、微电子技术工艺参数测试分析技术和微电子器件参数测试与应用技术，能够熟练使用集成电路EDA工具软件。本实验共设置35个实验，要求选作半导体材料特性测试技术和微电子技术工艺参数测试分析类实验、微电子器件参数测试与应用类实验4个、现代集成电路EDA技术和电子线路设计类实验5个，共计3类15个实验。半导体材料特性与微电子技术工艺参数测试分析实验(选6个)：(一)半导体材料层错位错观测(2学时)具体内容：使用金相显微镜，在测微目镜下显示、观察并测试样品的层错和位错形状、结构和数量，对测试数据进行计算、分析。121.基本要求（1）掌握半导体材料中层错位错等杂质缺陷的产生机

7、理和显示测试手段；（2）了解金相显微镜的使用规则和测试规范。2.重点、难点重点：显示、观察和测试样品的层错和位错；难点：层错和位错显示、层错和位错产生机理的理解和金相显微镜调试使用。3.说明：掌握半导体材料中缺陷的产生机理和检测方法。(二)半导体材料电阻率的四探针法测量及其EXCEL数据处理(2学时)具体内容：测试给定的三块不同规格半导体材料样品电阻率，使用EXCEL软件对各个样品的测试数据进行指