真空箱式氦检漏系统介绍及维修

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1、真空箱式氦检漏系统介绍及维修一.氦检基本原理二.氦检基本结构三.常见故障维修四.设备重点维保五.设备5S及点检一.氦检的基本原理1.1检漏方法：1.2气密的常识1.3气密的常识下图为漏孔的等效直径和漏率范围的关系（一个大气压下）1.4了解漏率的计算漏率就是根据气体流量计算的气体流量=容积x压强/时间Q=p·V/t单位：毫巴·升/秒（mbarL/s)大气压·毫升/秒乇·升/秒帕·米³/小时(pam³/s)1.5什么是氦检氦检就是利用氦气检漏的设备为什么要用氦气检漏呢？因氦气的分子结构小，能穿过较小的漏孔并且氦气在空气中的含量较少(只有

2、5ppm即百万分之五),，从而不会对本底产生影响。氦气的安全性高，无毒，不易燃，不污染环境，不与其他物质反应，可混合到任意浓度。所以氦气是检漏的最佳气体。氦气检漏的两种模式1、吸入模式——在大气压状态下，用检漏仪的吸枪对被测件进行氦气泄漏检测。（精度10ˉ7）2、真空模式——在真空状态下，用检漏仪检测被测件泄漏在真空系统中氦气的含量。（精度10¯12）氦检采用真空模式1.6氦检检漏过程下图是真空箱检漏过程原型图真空箱工件内部充高真空箱工件内部放氮，压氮，根据压抽真空至800pa，力衰减，检大工件漏工件充入氦4.15Mpa12真空箱粗抽真空真

3、空箱精抽真空真空箱真空箱工件内部放氦，接近大气压后通工件工件过真空泵抽氦回收43真空箱精抽真空，真空箱充入空气至大气压同时检漏仪开检1.7真空箱式氦检漏系统工艺流程图真空箱待检工件关箱门安装工件真空箱抽真空大漏及强度检测不合格合格大漏工件显示抽真空本底抑零充氦气真空模式，微漏检测不合格合格合格充入大气回收氦气微漏工件显示开箱门检测完成1.8氦检的基本原理总结原理：将充有4.15Mp混合氦的工件放置在真空箱内，检漏仪在真空状态下分析系统中氦分子的量。根据工艺要求，当氦分子量达到设定值时，系统将判定该工件泄露，反之合格。过程：有微漏的工件内充注高

4、压氦气后，氦气就会通过工件的微小漏孔泄漏到真空箱内部，由于工件在高真空环境下，系统内部没有其他气体的干扰，在真空泵的作用下氦气就会流向高真空端，在真空泵的前端检漏仪的真空泵会将氦气抽到检漏仪内部，由于氦气逆扩散能力比较强，它会逆着检漏仪分子泵的排气口到达质谱室，在质谱室离子源的作用下，气体被离化分解，再由磁分离器分离后经离子收集极收集，将收集的氦离子转换为电信号显示在显示器上。要求：过程中工件根据工艺要求抽空到800pa以下，主要为防止工件内空气的加入对氦气浓度产生影响。充氦压力根据工艺要求R22冷媒为3.3-3.8Mpa，R410A冷媒为4.

5、15-4.5Mpa。箱体的真空度没有具体要求，根据检漏仪开检状态的最低真空度要小于1500pa进入粗检模式，小于20pa进入精简模式，检微漏是在精简下完成的。但往往压强越低本底越好，检漏精度也就越高。二.氦检的基本结构2.1真空箱氦检系统的主要组成部分。真高压氦软包消空音计吹氮充气器电磁阀真空阀充氦放氦工件压夹工力真吹氮变空层件回单送计抽抽器收向加热带空空阀阀阀阀检漏仪入口阀粗精抽抽阀阀1.0*10-12PhoenixPhoenixL300L300粗抽泵精抽泵检漏仪夹层泵工件泵回收泵2.2各部分的功能及术语真空泵：真空泵分为双级旋片泵、单级

6、旋片真空泵、罗茨泵和分子泵，箱体抽空主要以旋片泵和罗茨泵的组合，这种结构抽速相比单独旋片泵更高效，真空泵在系统中主要给系统提供一个真空环境，而真空坏境又能给检漏带来高精度。真空阀：真空阀在系统中主要起到一个开关的作用，但真空阀又不同于普通的阀门，他的漏率是有严格要求的，一旦真空阀密封不良会直接影响到检漏。电磁阀：电磁阀在系统中有多种，总体分为两种，高压阀和低压阀，高压阀主要参与高压的动作，比如充氦和回收，低压阀主要控制低压气体，比如氮气和压缩空气。在设备的某些地方，系统对电磁阀的密封也是较严格的，一旦有泄漏会影响整个系统的正常运行。检漏仪:

7、检漏仪是整个氦检系统的核心部件，氦检所做的动作都是为检漏仪服务的。检漏仪主要是分析系统中氦分子的量，系统根据检漏仪分析的数值来判定被测工件的合格与否。真空系统：真空系统包括真空箱和真空管路，及真空泵和真空阀。系统对其各个部件的密封要求极其严格。2.3各部分的功能及术语压缩空气：压缩空气是给系统提供动力的，比如箱门的升降，真空阀及气动阀的开关动作，都是压缩空气提供的动力。氮气：氮气在系统中主要起到清扫的作用。因氦气附着能力较强，系统本身很难再较短的时间内清理掉，而氮气和氦气的分子结构特性相似，能更好的和氦气相融合，氮气又不对检漏仪产生作用。

8、氦气：氦气是检漏的主要气体。因氦气的分子结构小，能穿过较小的漏孔。又因氦气在空气中的含量较少(只有5ppm)，从而不会对本底产生影响。