DB52T 902-2014 电子级三溴化硼

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1、ICS71.060.50G12DB52贵州省地方标准DB52/T902—2014电子级三溴化硼Electronicgradeborontribromide2014-06-09发布2014-07-09实施贵州省质量技术监督局发布DB52/T902—2014目次前言................................................................................II1范围.......................................................................

2、.......12规范性引用文件....................................................................13分子式和相对分子质量..............................................................14分级..............................................................................15要求...........................................

3、...................................26试验方法..........................................................................27检验规则..........................................................................58包装、标志、运输和贮存............................................................6IDB52/T902—2014前言本

4、标准依照GB/T1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。本标准的某些内容可能涉及专利内容。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由贵州威顿晶磷电子材料有限公司提出。本标准由贵州省质量技术监督局归口。本标准起草单位：贵州省产品质量监督检验院、贵州威顿晶磷电子材料有限公司。本标准主要起草人：钟宏波、蒋飚、黄春银、祝飘、冯永渝、陈文强、陈泉、刘涛、龚宁、黄海英、周大颖、麻晖、伍昌维、邵青松、程化鹏。IIDB52/T902—2014电子级三溴化硼1范围本标准规定了电子级三溴化硼的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运

5、输、贮存和安全。本标准适用于用工业三溴化硼原料经精馏、提纯、超净过滤后制得的电子级三溴化硼。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的扩散源等。本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及适用范围的建立。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB50472电子工业纯净厂房设计规范（附条文说明）GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备GB/T603

6、化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备GB/T6678化工产品采样总则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法GB/T8170数值修约规则与极限数字的表示和判定GB/T11446.1电子级水3分子式和相对分子质量分子式：BBr3相对分子质量：250.5（按2011年国际相对原子质量）。4分级电子级三溴化硼分为两种规格：6N级：纯度（基于金属杂质）≥99.9999%，主要用于太阳能光伏电池扩散源；7N级：纯度（基于金属杂质）≥99.99999%，主要用于大规模集成电路（IC）、分离器件扩散源；5要求1DB52/T902—20145

7、.1外观：无色或稍带黄色的发烟液体。5.2电子级三溴化硼应符合表1要求。表1要求项目6N级7N级纯度（基于金属杂质）≥99.9999%99.99999%铝（Al）/（μg/kg）≤155砷（As）/（μg/kg）≤41银（Ag）/（μg/kg）≤21金（Au）/（μg/kg）≤21钡（Ba）/（μg/kg）≤21铋（Bi）/（μg/kg）≤21钙（Ca）/（μg/kg）≤105钴（Co）/（μg/kg）≤21铜（Cu）/（μg/kg）≤52铬（Cr）/（μg/kg）≤21铁（Fe）/（μg/kg）≤2010镓（Ga）/（μg/kg）≤21汞（Hg）/