DB52T 904-2014 电子级三氯氧磷

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1、ICS71.060.50G12DB52贵州省地方标准DB52/T904—2014电子级三氯氧磷Electronicgradephosphorusoxychloride2014-06-09发布2014-07-09实施贵州省质量技术监督局发布DB52/T904—2014目次前言................................................................................II1范围.......................................................

2、.......................12规范性引用文件....................................................................13分子式、相对分子质量及分类........................................................14要求..............................................................................15试验方法..................

3、........................................................26检验规则..........................................................................67包装、标志、运输和贮存............................................................6附录A（资料性附录）处理废液的方法..................................................

4、7IDB52/T904—2014前言本标准按照GB/T1.1-2009《标准化指导原则第1部分：标准的结果和编写》给出的规则起草。请注意：本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由贵州威顿晶磷电子材料有限公司提出。本标准由贵州省质量技术监督局归口。本标准起草单位：贵州威顿晶磷电子材料有限公司、贵州省产品质量监督检验院、贵阳精一科技有限公司。本标准主要起草人：蒋飚、钟宏波、祝飘、冯永渝、陈文强、黄春银、刘涛、向东、龚宁、贺思全、陈泉、舒晓骥、周大颖、张建刚、程化鹏。IIDB52/T904—2014电子级三氯氧磷1

5、范围本标准规定了电子级三氯氧磷的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签，包装、运输、贮存和安全。本标准适用于电子级三氯氧磷。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的扩散源等。本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及适用范围的建立。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备GB/T6

6、03化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备GB/T6678化工产品采样总则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法GB/T8170数值修约规则与极限数字的表示和判定GB/T11446.1电子级水GB50472电子工业洁净厂房设计规范HG/T3606—2009工业用三氯氧磷3分子式、相对分子质量及分类分子式：POCl3相对分子质量：153.33（按2011年国际相对原子质量）分类：电子级三氯氧磷分为两种规格：6N级：纯度（基于金属杂质）≥99.9999%，主要用于太阳能光伏电池扩散源；7N级：纯度（基于金属杂质

7、）≥99.99999%，主要用于大规模集成电路（IC）、分离器件扩散源。4要求4.1外观：无色透明液体。4.2电子级三氯氧磷应符合表1要求。1DB52/T904—2014表1要求检验项目6N级7N级三氯氧磷（POCl3）含量≥99.9%99.9%纯度（基于金属杂质）≥99.9999%99.99999%铝（Al）/（μg/kg）≤405砷（As）/（μg/kg）≤306银（Ag）/（μg/kg）≤11金（Au）/（μg/kg）≤11钡（Ba）/（μg/kg）≤201铋（Bi）/（μg/kg）≤101钙（Ca）/（μg/kg）≤305钴（Co）/（μg

8、/kg）≤201铜（Cu）/（μg/kg）≤202铬（Cr）/（μg/kg）≤201铁（Fe）/（μg/kg）≤405镓（