烧结炉培训材料

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烧结炉培训材料一、功能及用途此烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有质成分、完成铝背场及珊线烧结。硅片在炉中，上、下两面能同时烧结，烧结过程如下：l对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干；l去除浆料中的有质粘结剂；l铝背场及珊线烧结二、烧结炉结构炉体分为三个部分：l烘干区烘干区包括四个加热区：ZONE1、ZONE2、ZONE3、ZONE4，其中ZONE4为对流加热区，位于其它三个温区上部，每个加热区温度单独可调、加热元件为电热丝，加热温度可设置到500摄氏度，但过程温度不应超过300摄氏度。l烧结区烧结区包括六个加热区：ZONE1、ZONE2、ZONE3、ZONE4、ZONE5、ZONE6，ZONE1~4为预烧结区，ZONE5和ZONE6为主烧结区，加热元件为近红外线加热管，其中1~4区加热管功率为1600W，5、6区加热管功率为2700W，每个温区温度单独可调，1~4温区温度可设置到700摄氏度，5、6温区可设置到摄氏1050度。

1l冷却区冷却区采用水冷，给水温度大约在20~25摄氏度范围内。烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个隔离炉膛，通过风帘隔离，隔离炉膛防止相邻区域中的过程气体相互混合。

2除了上述三个主要部分外，在炉体头部有上料区，在尾部有下料区，外加一个单独的冷凝器，冷凝媒介为冷却水。一、CAN控制系统构成l传动电机调速系统传动电机采用三相异步电机，速度调节是采用闭环变频调速，控制框图如下：

3l温度控系统温度控制采用PID控制，系统构成控制框图如下：

4l冷却系统l排风系统冷却系统和排风系统很简单，都采用开环系统。二、操作l开机步骤i.慢速开启冷却水主给水阀，给烧结炉供水。通常各管道给水阀和流量已设定好，勿需调节。ii.慢速开启压缩空气主阀，炉子提供过程气体，同时给各气缸提供压缩空。通常各管道流量已设定好，勿需调节。iii.将主电源开关拨到“1”，开启主电源。iv.启动PC，等待机器完成自检和监控程序装入。v.将“DriveOn”拨到“1”，“DrivePC/Manual”拨到“0”，将“HeatingFF”拨到“ON”，将“HEATINGHTO”拨到“ON”。

5i.点击启屏幕上“Driveon/off”收音开关，并按确认收音键，启动传送带。ii.如果有设置好的升温程序，顺序装入，使炉子逐步升温到过程温度。如果没有，则手动设置，每200度为一阶，逐步升温到过程温度。第一次装入后，需点击加热收音开关，开始加热。iii.根据工艺要求调整工艺参数，只需调整各温区温度和带速设定值。当过程值达到设定值后，机便处于就绪状态。l关机步骤关机步骤则与关机步骤相反，需注意：当炉温降到100度左右时，方可将传送带停下。二、预防性保养l定期清洗主给水过滤器。l定期吹洗HTO空气过滤器。l定期清洗传送带。l定期清洗气体流量计。l定期检查并调整传送带长度。l定期检查并清洗文丘利喷嘴。三、故障诊断与修复监控程序几乎可以定位所有故障，当故障发生时，报警系统会发出声光报警，并可能停炉。可打开“Alarm”标签，察看报警信息，判断故障位置，分析故障原因，并排除故障。常见的故障报警及处理：l空气流量过小或过大，空气压力不稳。提请设施部作解决。l压缩空气中有大量水份和油份，加大流量，排除积累在流量计中的水份，同时提请设施部设法滤去压缩空气中的水份和油份。l冷凝器排风量过小，开大风门，同时提请设施部加大抽风量。l冷却水温度过高，提请设施降低水温。lHTO过滤器堵塞，用风枪吹洗过滤器。l传送带过长，调整链带长度。l温度超出设定充许范围，检查设定值是否合适，并件适当调整。l加热管烧断，更换加热管。l固态继电器，更换继电器。