烧结炉培训材料

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1、烧结炉培训材料一、功能及用途此烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的冇质成分、完成铝背场及珊线烧结。硅片在炉中,上、下两面能同时烧结，烧结过程如下：•对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干；•去除浆料中的有质粘结剂；•铝背场及珊线烧结二、烧结炉结构炉体分为三个部分:123455556519877•烘干区烘干区包括四个加热区：ZONE1xZONE2、ZONE3ZONE4,其中ZONE4为对流加热区，位于其它三个温区上部，每个加热区温度单独可调、加热元件为电热丝，ZONE1至ZONE3(115v830w)oZONE4(230v,700

2、w)。加热温度可设置到500摄氏度,但过程温度不应超过300摄氏度。432•烧结区烧结区包括六个加热区：ZONE1、ZONE2>ZONE3>ZONE4>ZONE5>ZONE6,ZONE1~4为预烧结区，ZONE5和ZONE6为主烧结区，加热元件为近红外线加热管，其屮1〜4区加热管功率为1600W,5、6区加热管功率为2700W,每个温区温度单独可调，卜4温区温度可设置到700摄氏度,5、6温区可设置到摄氏1050度。1222129876543•冷却区冷却区采用水冷，给水温度大约在20〜25摄氏度范围内。15432烘干区与烧结区之

3、间、烧结区与冷却区之间各侑一个隔离炉膛，通过风帘隔离，隔离炉膛防止相邻区域中的过程气体相互混合。除了上述三个主耍部分外，在炉体头部有上料区，在尾部有下料区，外加一个单独的冷凝器,冷凝媒介为冷却水。1三、CAN控制系统构成XE25UJ•传动电机调速系统传动电机采用三相异步电机，速度调节是采用闭环变频调速，控制框图如下:IRGG97

4、CANBUSnJ温度控系统温度控制采用PID控制，系统构成控制框图如下:————」EthernetIREG97IIB1CANBUSIIIIKTdK/Ti1/TtRDTnB/£4LimiterTMM5-4

5、X1Furnace

6、•冷却系统•排风系统冷却系统和排风系统很简单，都采用开环系统。四、操作•开机步骤i.慢速开启冷却水主给水阀，给烧结炉供水。通常各管道给水阀和流量已设定好，勿需调节。9834567ii.慢速开启压缩空气主阀，炉子提供过程气体，同吋给各气缸提供压缩空。通常各管道流量己设定好，勿需调节。iii.将主电源开关拨到“1”，开启主电源。iv.启动PC,等待机器完成自检和监控程序装入。v.将“DriveOn”拨到“1”，“DrivePC/Manual”拨到“()”，将“HeatingFF”拨到“ON”,将“HEATINGH

7、TO”拨至I」“ON”。123456Ori.点击启屏幕上“Driveon/ofF收音开关，并按确认收音键，启动传送带。ii.如果有设置好的升温程序，顺序装入，使炉子逐步升温到过程温度。如杲没有，则手动设置，每200度为一阶，逐步升温到过程温度。第一次装入后，需点击加热收音开关，开始加热。iii.根据工艺要求调整工艺参数，只需调整各温区温度和带速设定值。当过程值达到设定值后,机便处于就绪状态。•关机步骤关机步骤则与关机步骤相反，需注意：当炉温降到10()度左右时，方可将传送带停下。五、预防性保养•定期清洗主给水过滤器。•定期吹洗H

8、TO空气过滤器。•定期清洗传送带。•定期清洗气体流量计。•定期检查并调整传送带长度。•定期检杳并清洗文丘利喷嘴。六、故障诊断与修复监控程序儿乎可以定位所有故障，当故障发牛时，报警系统会发出声光报警，并可能停炉。可打开"Alarm-标签，察看报警信息，判断故障位置，分析故障原因，并排除故障。常见的故障报警及处理：•空气流量过小或过人，空气压力不稳。提请设施部作解决。压缩空气屮有人量水份和汕份，加大流最，排除积累在流最计屮的水份，同时提请设施部设法滤去压缩空气中的水份和汕份。冷凝器排风量过小，开大风门，同时提请设丿施部加大抽风量。冷

9、却水温度过高，提请设施降低水温。HTO过滤器堵塞，用风枪吹洗过滤器。传送带过长，调整链带长度。温度超出设定充许范围，检查设定值是否合适，并件适当调整。加热管烧断，更换加热管。固态继电器，更换继电器。