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《5#p-tin线镀铜铜厚分布评估及改善》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、1ME技術報告書文件編號:文件傳送和文件做成.審核.批准收件1#PLAT,1#維修部,QA,QAE,PMC作成張飾成07/01/20抄送相關經理/副經理審核FAX批准文件核心內容描述技術專案5#P-Tin線銅厚分佈評估及改善目標指標圖電後夾膜短路問題率爲0現況描述現狀:夾點位5#P-Tin線生産35um汽車板時,會出現夾膜短路的問題,如DH-7245;DH-6773B,對問題點切片分析發現夾膜處線路銅厚普遍大於38um（幹膜厚度爲38um）,而其他正常處的線路銅厚卻小於38um.且經對問題板及IPQC反饋資訊確認,問題點多出現在夾
2、點相對應下端的線路密集處,並且是在非固定位置.可見5#P-Tin線生産35um汽車板時,生産板夾點相對應下端的線路銅厚要大於中端及上端的線路銅厚.夾膜處夾膜短路橫切片夾膜位置圖示試驗方案參考3#P-Tin浮架結構,任意選取5#P-Tin線28號銅缸,將其浮架上的兩排孔封掉,評估其前後鍍銅銅厚分佈,詳細試驗方案如下:評估專案評估特點試板特點及數目電鍍條件評估方式取數方式數據分析鍍銅厚度分佈浮橋未封孔尺寸20.00”×18.00”底銅H/HOZ光銅板(10塊)16ASF,75min﹔鍍液控制條件同正常生産條件光銅板---沉銅---鍍銅
3、---鍍銅厚度檢測儀測量每塊板正反面上中下部各取3點共9個點偏差,平值偏差,COV對比鍍銅厚度分佈浮橋封孔後尺寸20.00”×18.00”底銅H/HOZ光銅板(10塊)16ASF,75min﹔鍍液控制條件同正常生産條件光銅板---沉銅---鍍銅---鍍銅厚度檢測儀測量每塊板正反面上中下部各取3點共9個點偏差,平值偏差,COV對比E:file-serverfs_tmpdownload7d0afd5e1eecb11facd8ba29319eb5d4.doc試驗方案試板挂板方式示意圖:銅厚分佈測量位置示意上部●●●●●●●●●中
4、部下部試驗結果及分析總結<一>浮橋未封孔前鍍銅銅厚分佈測試數據如下(單位:um):正面分佈數據:1#板2#板3#板4#板5#板4241.647.746.441.746.645.442.547.246.442.848.447.643.343.940.742.147.246.94245.745.541.946.246.94247.347.340.642.747.944.150.650.845.451.951.746.749.954.946.354.654.247.547.76#板7#板8#板9#板10#板42.440.546.8454
5、0.94041.441.542.64040.53944.739.936.64238.946.444.340.840.94140.142.239.940.239.642.436.936.54947.254.351.746.547.348.345.748.945.744.346.546.943.443.4浮橋未封孔前試板正面鍍銅銅厚分佈波動圖數據分析:上部(數列1)銅厚AVER:43.2um中部(數列2)銅厚AVER:42.3um下部銅厚較板中上部偏厚5~6um.下部(數列3)銅厚AVER:48.4um銅厚總平均值爲:44.7umMA
6、X:54.9umMIN:36.5um偏差:18.4umSTDEV:4.1COV:9%E:file-serverfs_tmpdownload7d0afd5e1eecb11facd8ba29319eb5d4.doc試驗結果及分析總結<二>浮橋封孔後鍍銅銅厚分佈測試數據如下(單位:um)正面分佈數據:1#板2#板3#板4#板5#板40.439.440.739.63840.737.939.143.841.739.341.639.538.939.941.241.240.841.239.640.240.140.141.742.339.
7、640.242.138.34044.541.341.445.640.541.6454344.247.945.244.84842.743.86#板7#板8#板9#板10#板37.43838.941.339.941.642.839.440.238.34043.343.139.840.539.23937.741.139.341.143.537.839.94038.442.944.839.140.644.44342.545.944.345.448.243.143.845.54346.347.642.744.1浮橋封孔後試板正面鍍銅銅厚分佈
8、波動圖數據分析:上部(數列1)銅厚AVER:40.2um中部(數列2)銅厚AVER:40.4um下部銅厚較板中上部偏厚4um.下部(數列3)銅厚AVER:44.3um銅厚總平均值爲:41.6umMAX:48.2umMIN:37.4um偏差:10.8
