多晶硅铸锭切片用水工艺介绍

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1、多晶硅铸锭切片用水工艺介绍　　根据生长方法的不同，多晶硅可分为等轴晶、柱状晶。通常在热过冷及自由凝固的情况下会形成等轴晶，其特点是晶粒细，机械物理性能各向同性。如果在凝固过程中控制液固界面的温度梯度，形成单方向热流，实行可控的定向凝固，则可形成物理机械性能各向异性的多晶柱状晶，太阳能电池多晶硅锭就是采用这种定向凝固的方法生产的。在实际生产中，太阳能电池多晶硅锭的定向凝固生长方法主要有浇铸法、热交换法(HEM)、布里曼(Bridgeman)法、电磁铸锭法，其中热交换法与布里曼法通常结合在一起。　　热交换法及布里曼法都是把熔化及凝固置于同一坩埚中(避免了二次污染)

2、，其中热交换法是将硅料在坩埚中熔化后，在坩埚底部通冷却水或冷气体，在底部进行热量交换，形成温度梯度，促使晶体定向生长。布里曼法则是在硅料熔化后，将坩埚或加热元件移动使结晶好的晶体离开加热区，而液硅仍然处于加热区，这样在结晶过程中液固界面形成比较稳定的温度梯度，有利于晶体的生长。其特点是液相温度梯度dT/dX接近常数，生长速度受工作台下移速度及冷却水流量控制趋近于常数，生长速度可以调节。　　工艺特点　　工作台通冷却水，上置一个热开关，坩埚则位于热开关上。硅料熔融时，热开关关闭，结晶时打开，将坩埚底部的热量通过工作台内的冷却水带走，形成温度梯度。同时坩埚工作台缓慢

3、下降，使凝固好的硅锭离开加热区，维持固液界面有一个比较稳定的温度梯度，在这个过程中，要求工作台下降非常平稳，以保证获得平面前沿定向凝固。　　多晶硅生产用水传统工艺流程　　预处理系统-反渗透系统-粗混床-精混床-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)技术资料由北京水处理公司提供　　预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)　　预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精密过滤器-用水对象(≥5MΩ.CM)　　多晶硅生产用水新型工艺流程　　预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-抛光混床-

4、精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)　　预处理-一级反渗透-二级反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)　　预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥5MΩ.CM)　　多晶硅生产纯水设备特点　　多晶硅生产纯水设备在工艺设计上，取达到国家自来水标准的水为源水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床系统(EDI电除盐系统)等。技术资料由北京水处理公司提供