cuⅰ铜颗粒特性要因分析

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1、CuⅠ銅顆粒特性要因分析機器設備2操作人員1空靶開電流設備點檢保養維護磨刷Debbur銅粉作業手套掉板or掉磷銅球CuⅠ銅顆粒來料板材陽極袋濾心PTH段藥水鍍銅段藥水陽極磷銅球化學藥水3物料4附件說明項目何人／何物造成可能造成原因對策結果備註1操作人員1.未確實做設備檢點？嚴格執行並稽核設備點檢表OK！執行中2.上／下板作業手套是否有異物？上／下板用不同手套，不定期用清水清洗手套，破損過髒換新OK！執行中3.未按SOP製程作業標準操作？按佳鼎作業標準作業OK！執行中4.未定期對設備進行保養維護？按SOP作業標準執行OK！執行中2

2、機器設備1.化銅槽及鍍銅槽打氣是否正常？逐槽做確認看打氣狀況？化學銅及鍍銅槽有打氣不均現象建議改善2.擺動是否異常？逐槽做確認？確認中做薄板建議不開搖擺3.鍍銅槽過濾循環系統是否異常？每月定期更換濾心，清洗保養OK！執行中4.水洗溢流量是否不足？水洗水質是否太髒？逐槽做確認？並做水洗溢流量標示OK！執行中5.化學銅副槽未加裝過濾袋要求貴公司加裝過濾袋執行中臨時用裝磷銅球的陽極袋來過濾6.薄板上板與浮架搭配不良？造成底部高電流區嚴重粗糙顆粒建議薄板上板，底部需固定，避免板子因擺動偏離浮架造成燒焦粗糙尚未執行討論中7.掛具未噴砂，帶

3、入過多銅粉、銅屑所有掛具建議每半年做一次噴砂處理OK！確認中附件說明項目何人／何物造成可能造成原因對策結果備註3化學藥水（PTH段）1.微蝕槽，銅含量過高，微蝕效果失效分析確認銅含量及微蝕效果OK！每兩週更換2.活化槽，有懸浮異物，槽液過髒若鈀槽過髒，移槽過濾處理OK！每半年做一次3.化學銅槽，反應是否過於劇烈？將反應速率調降控制15-25μ”左右OK！(21μ”)執行中4.還原槽後的水洗是否過髒因操作要求，還原後水洗不開溢流，建議每天更換1次確認中尚未執行5.化學銅槽消槽不完全殘留銅粉確實按SOP標準作業執行中每週一次，銅顆粒

4、獲得改善6.化學銅濃度成份是否異常分析確認，每週校正自動添加量至少1次OK！執行中4化學藥水（鍍銅段）1.鍍銅槽是否Sludge過多？每槽每月安排做一次移槽過濾處理OK！執行中2.鍍銅槽濾心過髒更換頻率？視清潔的程度而定，每月至少更換1次，建議使用5μ”濾心OK！持續執行中3.鍍銅槽，Dummy建議使用波浪板增加Dummy效果請貴公司申購尚未執行4.光澤劑自動添加量是否足夠？C.V.S.及Hullcell分析每週一次（原1L/10000A．hr）暫修正添加1L/9000A．hr尚未執行確認中5.Dummy頻率如何？建議每週保養後

5、每槽至少作1次Dummy確認中Dummy後銅顆粒獲得改善6.鍍銅管理槽週圍發現污染源，蓋子上面有許多髒物1.暫時將管理槽蓋上紙板，避免污染鍍銅槽液2.找出污染源執行中5物料1.陽極磷銅球含磷量如何？1.請磷銅球供應商提供數據2.確認陽極膜生長情形是否良好確認中尚未執行2.陽極袋是否有破損？逐一確認OK!若發現有破損更換3.做板前來料是否異常？檢查來料銅屑，銅粉是否過多？有少許銅屑銅粉建議加強磨刷後水洗段