射频电源常见故障分析

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1、射频电源常见故障分析1.辉光后只有板压增加，板流很小，几乎没有。原因：1A4板损坏2FU100电子管坏方法：更换之2辉光后，板压板流均自动上升，且满偏原因：A2板坏方法：更换之3反射功率较大，入射功率加不上去，无法起辉原因：1电源箱镀银电感线圈匝间短路2匹配箱两个真空电容之间的镀银电感匝间短路方法：检查线圈，使其分开4开高压后，板压很高，随调节旋钮增大，板压迅速升到2000V以上，板流没有明显变化。原因：电源箱高压输出部分电路接触不良方法：打开电源箱盖，检查螺钉拧紧情况和接头的焊接情况5辉光正常，板流正常，功率表显示正常，板压偏小（小

2、于1200V）原因：A7板采样电阻损坏，呈现高阻或短路状态所致。方法：更换A7板或更换板上的电阻（电路板正面的位于高压硅堆和电解电容之间的电阻）6辉光时，板流很大，板压较小（小于1200V），功率加不上去。原因：电源箱镀银电感有匝间短路现象，或A2板坏方法：调整电源箱镀银电感或更换A2板7调节调谐旋钮时，入射功率及反射功率起伏变化很大，有跳变现象。原因：匹配箱真空电容接触不良。方法：更换真空电容或者更换匹配箱