射频电源故障分析

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1、修订日期版木修订记录2013-6-6A新版制定修订部门编制审核批准设备部系统的了解射频报警的原因，加深对射频电源的了解，同时给设备人员处理此类故障提供思路。2•范围适用于射频故障报警原因分析和排查。3•定义无4•职责4.1、生产人员负责协助设备人员共同完成此工作。4.2、设备技术人员按照此步骤逐-排查。4.3、需要更换时相关器件时，设备工程师必须在场并监督与确认高压安全。5•作业内容5.1看报警提示，是否有破真空报警或特气流量报警。若有破真空报警则可能漏气，排除后继续工艺并观察。若有特气流量报警，确认外围供气是否正常，若正常做检查管道和特气流量计是否有堵5.2检查

2、舟内是否有碎片或是片子在舟内同时接触两片舟叶，若有放电时容易引起短路而发牛报警，应及时清理并继续工艺观察5.3检查炉管内是否碎片很多，如果管内碎片多，当桨在炉管内放下时舟脚处容易将碎片垫起造成两舟叶同吋和硅片接触，当射频放电吋，形成短路电流发生报警终止工艺。应及时清理。5.4检查射频电源冷却水流量进出开关开度是否过小，若冷去水流量不足容易造成射频电源放电过程中中途报警而终止工艺，可对比其他管射频电源冷却水进出口开关开度做相应调节。并模拟放电看是否正常。若不正常则可进行下一步排查。5.5如下图，空载状态下查看射频电源指示灯是否正常：当11仅绿灯亮为正常。当红灯闪烁吋

3、为不正常，此吋应检查该射频屯源冷却水进水口或出水口水流量调节阀开度是否过小并重启射频电源；必要时，更换射频电源。射频电源主线路开关断开并确定射频电源己关闭后进行）5.6.1如图，将电极接线接头卸下，观察接头内铜芯是否有烧断或被氧化得很严重的现象。若有，则及吋更换接头，必要的话把电极也一并更换。盖打开，检查此处射频电源线接头是否有松动出现接触不良情况。并适当拧紧紧固螺丝，盖上盖子。5.6.3检查射频电源控制线路接头是否有松动现象：可将控制线接头拔插后从新紧固如图：做完以上步骤后，重新上电进行放电模拟，观察放电是否恢复正常。5.7如下左图G-A4,测量射频功率输出模块

4、302的1/3输出点，确认放电时是否有电压输出，若有作好电压记录，并用测量出來的值乘以1000再和右图中观察到的实际功率值作对比，若相等这说明射频和线路没有问题，若测出的值比实际看到的值大，则可能射频故障，可尝试更换射频电源。也有可能是模块至射频之间的线路故障。NoV130etTT11r00Q2437215039・1曰etTWMPSei00CPN2010000Gootol5U1S2=SAVCPPTttmMa075HW8・2202012==:一二nfetof・ooaeeenPLC模块是否岀现故障5.&1若功率过高导致报警可尝试把302模块更换掉，如图1：图15.8.

5、2若因电流值异常或功率较低岀现报警导致工艺终止，可尝试更换215模块,如图lo5.8.3若因电压值异常出现报警导致工艺终止，可尝试更换217模块。5.8.4若电压和电流正常，而输出功率不稳定，且变化值很大（一般在100以内为正常），造成工艺终止岀现报警的，可尝试更换104模块，如下图：