薄厚膜混合集成电路的失效分析

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1、薄厚膜电路工艺陕西国防工业职业技术学院项目报告课程名称薄厚膜电路工艺项目名称薄膜混合集成电路的失效分析班级微电3101班姓名及学号罗鹏33#指导教师张喜凤许燕2012年6月15日-2-薄厚膜电路工艺目记录卡编号（001）项目名称薄膜混合集成电路的失效分析项目内容1.失效和失效分析的概念2.失效分析的方法3.失效分析程序4.厚膜混合集成电路失效模式和失效机理4.1厚膜电阻器的失效4.2片式电容器的失效4.3衬底(已成膜基片)的失效5.薄膜混合集成电路失效模式和失效机理5.1薄膜电容器的失效5.2薄膜电阻器的失效5.3封装的失效6.分析

2、技术项目实施过程中遇到的困难在此次项目中，遇到的困难就是时间有限，解决问题的过程及方法自己从网上搜集资料，并从老师给的资料中寻找，从而使论文及时完成。。总结与反思通过本次项目，让我知道了自己还有很多地方不足：1遇到问题后要主动出击，不要坐以待毙；2做事情的时候一定要小心，细心；3其实资料就在眼前，关键是能不能发现。-9-薄厚膜电路工艺薄厚膜混合集成电路的失效分析罗鹏陕西国防工业职业技术学院电子信息学院微电3101班摘要：本文主要讲了失效分析的方法，以及失效分析的程序，并且详细的阐述了薄厚膜混合集成电路失效模式和失效机理,最后简单写了

3、失效分析的分析技术。Abstract:thisarticleismainlyaboutfailureanalysismethod,andfailureanalysisoftheprogram,anddetailthebaohoufilmICfailuremodeandmixedfailuremechanismandfinallywritesimplefailureanalysisanalysistechnology.关键词：混合集成电路、失效分析、失效机理、物理分析Keywords:hybridintegratedcircuit，f

4、ailureanalysis，failuremechanism，physicalanalysis引言：失效分析是产品可靠性保障技术之一，失效分析结论是可靠性设计的一个至关重要的依据。通过失效分析，可以诊断产品失效模式及机理，以机理为指引，找出与产品失效或退化直接相关的原因，从而对产品的设计、材料、工艺实施改进，以提高产品的可靠性，这就是失效分析在可靠性中的作用。因此，消除或控制混合集成电路的主要失效模式是其可靠性设计的重要技术之一。Preface:Failureanalysisisoneoftheproduct'sreliabili

5、tysecuritytechnology,failureanalysisconclusionofthereliabilitydesignisoneofthemostimportantbasis.Throughthefailureanalysis,canbediagnosedproductfailuremodeandmechanismformechanismasaguide,findoutandproductfailureordegradationisdirectlyrelatedtothereasons,andtheproductd

6、esign,material,processimprovement,inordertoimprovethereliabilityoftheproduct,thisisthefailureanalysisinthereliabilityintherole.Therefore,eliminateorcontrolcircuitofthehybridintegratedmainfailuremodeisthereliabilitydesignoftheimportanttechnicalone.1失效和失效分析-9-薄厚膜电路工艺产品丧失

7、规定的功能称为失效。判断失效的模式,查找失效原因和机理,提出预防再失效的对策的技术活动和管理活动称为失效分析。2失效分析的方法在失效分析研究中有4种基本方法：电气、化学、热学和物理。这些方法的概要给出如下，更全面的内容可以在由罗姆航空发展中心的E.Doyle和通用电气公司的B.Morris汇编的FailureAnalysisTechniques（失效分析技术）文件中查找。2.1电学分析电学分析用于将失效隔离到某一电气失效的元件。这可通过给电路加电激励并用探头探测，直到找到失效元件的位置来完成。电分析应该是任何失效分析的第一步。失效元

8、件已被识别以后，其他失效分析方法可用来决定为什么该元件失效。2.2化学分析湿法化学分析在混合电路失效研究中很少应用，因为分析需要大量的样品和长时间。然而，化学分析过程如色度、重量和污点试验也许在识别某些残余离子方面（若他们有足够量）是