最新VCSEL工艺简介教学讲义ppt.ppt

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1、VCSEL工艺简介VCSEL基本简介垂直腔表面发射激光器(VerticalCavitySurfaceEmittingLaser,即VCSEL)区别于边发射激光器沿平行于衬底表面、垂直于解理面的方向出射，而是面发射激光器其出光方向垂直于衬底表面，如下图：边发射激光器（a）面发射激光器(b)VCSEL基本简介-基本构成1977年，日本东京工业大学的伊贺健一(KenichiIga)提出VCSEL的概念，其光学谐振腔与半导体芯片的衬底垂直，能够实现芯片表面的激光发射。典型的VCSEL为顶发射结构。结构示意图如下图所示VCSEL的结构

2、示意图（顶部布拉格反射器（P-DBR）、谐振腔和底部N-DBR）VCSEL的制作芯片工艺与关键设备芯片流片芯片流片过程外延材料制备沉积SiO2侧向选择氧化制备工艺流程图n-DBRGaAssubstrateP-ringcontact沉积SiO2外延材料制备光刻+腐蚀做SiO2掩膜侧向选择氧化制备工艺流程图n-DBRGaAssubstrateP-DBRP-ringcontact外延材料制备台面腐蚀侧向选择氧化制备工艺流程图n-DBRGaAssubstrateactiveP-DBRP-ringcontact外延材料制备去掩膜侧向选

3、择氧化制备工艺流程图n-DBRGaAssubstrateactiveP-DBRP-ringcontact外延材料制备局部氧化侧向选择氧化制备工艺流程图n-DBRGaAssubstrateactiveP-DBRP-ringcontact外延材料制备沉积SiO2侧向选择氧化制备工艺流程图n-DBRGaAssubstrateactiveP-DBRP-ringcontact外延材料制备光刻、刻蚀、开窗侧向选择氧化制备工艺流程图n-DBRGaAssubstrateactiveP-DBRP-ringcontact外延材料制备光刻、电极、

4、出光孔侧向选择氧化制备工艺流程图n-DBRGaAssubstrateactiveP-DBRP-ringcontact电极出光孔同学们好经济法胡玉霞第2章个人独资企业法一、概念、特征二、设立条件三、设立登记第2章个人独资企业法一、概念、特征（教材第16页）A、由一个自然人投资；B、机构设置简单，管理方式灵活；C、投资者以其个人财产对企业债务承担无限责任；D、非法人企业二、设立条件1、投资人为1个自然人，有例外；2、要有自己的名称；3、投资人要申报其必要的与其申办企业规模相当的经营资金；4、有固定的生产经营场所和必要的生产经营条

5、件；5、有相对满足其经营业务开展的从业人员。三、设立登记1、提交文件（教材第17页）2、企业登记并发给执照之日成立。第3章合伙企业法一、概念二、设立三、合伙企业的财产构成四、合伙企业的事务执行五、合伙企业与第三人之关系六、入伙与退伙七、解散与清算一、概述（教材20页）（一）概念在我国境内设立的，由各合伙人订立合伙协议，共同出资、合伙经营、共享收益、共担风险，至少有一个以上的合伙人对合伙企业债务承担无限连带责任的营利性经济组织。（二）分类分为3类：普通合伙，特殊的普通合伙以及有限合伙。1、普通合伙，即原法中规定的合伙形式，合伙

6、人均承担无限连带责任。2、特殊的普通合伙，适用于以专业知识和专门技能为客户提供有偿服务的专业服务机构。一个或数个合伙人在执业活动中因故意或重大过失造成合伙企业债务，应当承担无限责任或者无限连带责任，其他合伙人以其在合伙企业中的财产份额为限承担责任。否则，全体合伙人承担无限连带责任。3、有限合伙，由两个以上五十个以下合伙人设立，其中至少应当有一个普通合伙人，其他为有限合伙人。有限合伙人不得以劳务出资，不执行合伙事务，不得对外代表有限合伙企业。在承担责任方面，有限合伙人以其认缴的出资额为限承担责任；普通合伙人则承担无限连带责任。

7、（三）特点1、两个以上，有限合伙：2－50个；2、法律基础：合伙协议；3、共同出资、合伙经营、共享收益、共担风险；4、对外责任：至少有一个以上的合伙人承担无限连带责任；5、非法人型企业。二、设立（教材21页）1、设立要件①有两个以上合伙人，并且至少有一个以上的合伙人是依法承担无限责任者；2010年3月1日施行的《外国企业或者个人在中国境内设立合伙企业管理办法》第2条：本办法所称外国企业或者个人在中国境内设立合伙企业，是指２个以上外国企业或者个人在中国境内设立合伙企业，以及外国企业或者个人与中国的自然人、法人和其他组织在中国境

8、内设立合伙企业。②有书面合伙协议；③有各合伙人实缴或认缴的出资（注意：出资方式）；④有合伙企业的名称；⑤有经营场所和从事合伙经营的必要条件。2、设立原则3、合伙协议（企业成立法律基础）4、注册登记三、合伙企业的财产构成（教材第23页）1、原始取得的财产2、经营取得的财产四、合伙企业的事务执